Mikrosystemtechnik
Die Mikrosystemtechnik (MST, {{Modul:Vorlage:lang}} Modul:Vorlage:lang:103: attempt to index field 'wikibase' (a nil value)), selten auch Mikrosystemtechnologie, ist ein Teilbereich der Mikrotechnik und beschäftigt sich mit der Lehre, Forschung & Entwicklung sowie Herstellung von Mikrosystemen.<ref></ref> Dabei werden beispielsweise mikromechanische oder mikrooptische Bauelemente mit mikroelektronischen Schaltungen in einem komplexen System kombiniert und integriert.
Ein weiteres Teilgebiet ist die Mikroverfahrenstechnik, die sich mit physikalischen und/oder chemischen Prozessen beschäftigt, die in mikrostrukturierten Apparaten ablaufen.
Man bezeichnet ein durch die Mikrosystem- oder Mikrotechnik hergestelltes Bauteil oder Gerät auch als Mikrosystem bzw. mikro-elektromechanisches System (MEMS).
Verfahren
In Mikrosystemen wirken Sensoren, Aktoren und Datenverarbeitung zusammen.<ref></ref> Für die Herstellung komplexer Mikrosysteme werden daher Verfahren und Methoden aus unterschiedlichen Mikrotechniken kombiniert. Dazu zählen die Mikromechanik, die Mikrofluidik, die Bioelektronik, die Mikrooptik (Sensoren, Aktoren) sowie die Mikroelektronik (Datenverarbeitung, elektronische Schnittstellen) selbst. Die Integration zu einem System erfolgt sowohl aus diskrete Komponenten (siehe Aufbau- und Verbindungstechnik), als auch monolithisch in Halbleitermaterialien wie kristallinem Silizium oder Gallium-Arsenid (siehe Dünnschichttechnik). Die genutzten Verfahren zur Herstellung sind dabei sehr vielfältig, neben typischen Dünnschichttechniken werden auch Abformtechniken (wie LIGA), Ätztechniken usw. genutzt. Dabei nutzt die MST nahezu jede Art von Werkstoffen wie Metalle, Halbleiter, Keramiken, Sol-Gel-Materialien, Kunststoffe und viele mehr.
Studium
Die Mikrosystemtechnik und die Mikrotechnik werden grundsätzlich von Wissenschaftlern und Ingenieuren praktiziert. Es gibt jedoch auch die Ausbildung zum Mikrotechnologen.
Mikrosystemtechnik kann an verschiedenen Hochschulen, Universitäten oder Forschungseinrichtungen studiert werden.<ref>Mikrosystemtechnik - 52 Studiengänge. Abgerufen am 27. Dezember 2022.</ref> Grundlagen in Physik gelten generell als Grundvoraussetzung. Ähnliche Studiengänge heißen z. B. Nanotechnologie, NanoEngineering usw.
Preise & Auszeichnungen
Skriptfehler: Ein solches Modul „Vorlage:Siehe auch“ ist nicht vorhanden. Die IEEE Electron Devices Society (EDS) verleiht u. a. den Robert Bosch Micro and Nano Electro Mechanical Systems Award für ausgezeichnete Arbeiten zu MEMS.
Anwendungsbereiche
Skriptfehler: Ein solches Modul „Vorlage:Siehe auch“ ist nicht vorhanden. Typische Anwendungen sind Sensoren und Aktoren in einer Vielzahl von Bereichen wie der Automobilindustrie<ref>Jessica Mouchegh: Mehr Chips: Bosch erweitert Halbleiterfertigung in Reutlingen. In: all-electronics. Hüthig GmbH, 23. Februar 2022, abgerufen am 15. Dezember 2022.</ref>, Elektrotechnik, Informationstechnik, Verkehrstechnik, Hochfrequenztechnik<ref></ref><ref>Inder J. Bahl, P. Bhartia: Microwave Solid State Circuit Design. 2. Auflage. Wiley-Interscience, New York 2003, ISBN 0-471-20755-1.</ref> und Medizintechnik.<ref></ref>
Wirtschaft & Hersteller
Skriptfehler: Ein solches Modul „Vorlage:Siehe auch“ ist nicht vorhanden.
Verbände & Organisationen
- Forschungsfabrik Mikroelektronik (FMD)
- Fraunhofer-Verbund Mikroelektronik in Kooperation mit den Leibniz-Instituten FBH und IHP
- IEEE Electron Devices Society (EDS)
- SEMI MEMS & Sensors Industry Group
- Semiconductor Industry Association (SIA), USA
- VDI/VDE Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik (GMM)
- VDE MikroSystemTechnik Kongress<ref>Startseite MikrosyStemTechnik Kongress. VDE Verband der Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik e. V., abgerufen am 5. Dezember 2022.</ref>
- ZVEI Fachverband Electronic Components and Systems
Literatur
Fachartikel
Fachjournale
- Journal of Microelectromechanical Systems (JMEMS),<ref>Journal of Microelectromechanical Systems - IEEE Electron Devices Society. Abgerufen am 6. Dezember 2022 (Lua-Fehler in Modul:Multilingual, Zeile 153: attempt to index field 'data' (a nil value)).</ref> angeboten von IEEE Electron Devices Society
- Microsystem Technologies (ISSN 1432-1858), Springer
- Micromachines ISSN 2072-666X (MDPI)
Lehrbücher
- Stephanus Büttgenbach: Mikrosystemtechnik (= Technik im Fokus). Springer Berlin Heidelberg, Berlin, Heidelberg 2016, ISBN 978-3-662-49772-2, doi:10.1007/978-3-662-49773-9.
- Markus Glück: MEMS in der Mikrosystemtechnik. Vieweg+Teubner Verlag, Wiesbaden 2005, ISBN 3-519-00520-4, doi:10.1007/978-3-663-10778-1.
- Manfred Kasper: Mikrosystementwurf. Springer Berlin Heidelberg, Berlin / Heidelberg 2000, ISBN 3-540-66497-1, doi:10.1007/978-3-642-57123-7.
- Wolfgang Menz, Jürgen Mohr, Oliver Paul: Mikrosystemtechnik für Ingenieure. Dritte, vollständig überarbeitete und erweiterte Auflage. Wiley-VCH, Weinheim 2005, ISBN 3-527-30536-X.
- Friedemann Völklein, Thomas Zetterer: Praxiswissen Mikrosystemtechnik (= Vieweg Praxiswissen). Vieweg+Teubner (Springer), Wiesbaden 2006, ISBN 978-3-528-13891-2, doi:10.1007/978-3-8348-9105-1.
Weiterführende Literatur
- Yogesh B. Gianchandani, Osamu Tabata, Hans P. Zappe: Comprehensive microsystems. Elsevier, Amsterdam/Paris 2008, ISBN 978-0-444-52190-3.
- Monografien aus der Springer Serie Microsystems and Nanosystems
Weblinks
Einzelnachweise
<references />