Mikrosystemtechnik

Mikroheizung

Die Mikrosystemtechnik (MST, {{#invoke:Vorlage:lang|full|CODE=en|SCRIPTING=Latn|SERVICE=englisch}}), selten auch Mikrosystemtechnologie, ist ein Teilbereich der Mikrotechnik und beschäftigt sich mit der Lehre, Forschung & Entwicklung sowie Herstellung von Mikrosystemen.<ref>{{#invoke:Vorlage:Literatur|f}}</ref> Dabei werden beispielsweise mikromechanische oder mikrooptische Bauelemente mit mikroelektronischen Schaltungen in einem komplexen System kombiniert und integriert.

Ein weiteres Teilgebiet ist die Mikroverfahrenstechnik, die sich mit physikalischen und/oder chemischen Prozessen beschäftigt, die in mikrostrukturierten Apparaten ablaufen.

Man bezeichnet ein durch die Mikrosystem- oder Mikrotechnik hergestelltes Bauteil oder Gerät auch als Mikrosystem bzw. mikro-elektromechanisches System (MEMS).

Verfahren

In Mikrosystemen wirken Sensoren, Aktoren und Datenverarbeitung zusammen.<ref>{{#invoke:Vorlage:Literatur|f}}</ref> Für die Herstellung komplexer Mikrosysteme werden daher Verfahren und Methoden aus unterschiedlichen Mikrotechniken kombiniert. Dazu zählen die Mikromechanik, die Mikrofluidik, die Bioelektronik, die Mikrooptik (Sensoren, Aktoren) sowie die Mikroelektronik (Datenverarbeitung, elektronische Schnittstellen) selbst. Die Integration zu einem System erfolgt sowohl aus diskrete Komponenten (siehe Aufbau- und Verbindungstechnik), als auch monolithisch in Halbleitermaterialien wie kristallinem Silizium oder Gallium-Arsenid (siehe Dünnschichttechnik). Die genutzten Verfahren zur Herstellung sind dabei sehr vielfältig, neben typischen Dünnschichttechniken werden auch Abformtechniken (wie LIGA), Ätztechniken usw. genutzt. Dabei nutzt die MST nahezu jede Art von Werkstoffen wie Metalle, Halbleiter, Keramiken, Sol-Gel-Materialien, Kunststoffe und viele mehr.

Studium

Die Mikrosystemtechnik und die Mikrotechnik werden grundsätzlich von Wissenschaftlern und Ingenieuren praktiziert. Es gibt jedoch auch die Ausbildung zum Mikrotechnologen.

Mikrosystemtechnik kann an verschiedenen Hochschulen, Universitäten oder Forschungseinrichtungen studiert werden.<ref>{{#if:|{{#iferror: {{#iferror:{{#invoke:Vorlage:FormatDate|Execute}}|Vorlage:FormatDate/Wartung/Error}}| |}}}}{{#if:|{{{autor}}}: }}{{#if:|{{#if:Mikrosystemtechnik - 52 Studiengänge|[{{#invoke:Vorlage:Internetquelle|archivURL|1={{#invoke:URLutil|getNormalized|1={{{archiv-url}}}}}}} {{#invoke:Vorlage:Internetquelle|TitelFormat|titel=Mikrosystemtechnik - 52 Studiengänge}}]{{#if:| ({{{format}}})}}{{#if:| {{{titelerg}}}{{#invoke:Vorlage:Internetquelle|Endpunkt|titel={{{titelerg}}}}}}}}}|{{#if:https://www.studis-online.de/studium/mikrosystemtechnik/%7C{{#if:{{#invoke:TemplUtl%7Cfaculty%7C}}%7C{{#invoke:Vorlage:Internetquelle%7CTitelFormat%7Ctitel={{#invoke:WLink%7CgetEscapedTitle%7C1=Mikrosystemtechnik - 52 Studiengänge}}}}|[{{#invoke:URLutil|getNormalized|1=https://www.studis-online.de/studium/mikrosystemtechnik/}} {{#invoke:Vorlage:Internetquelle|TitelFormat|titel={{#invoke:WLink|getEscapedTitle|1=Mikrosystemtechnik - 52 Studiengänge}}}}]}}{{#if:| ({{{format}}}{{#if:{{#if: 2022-12-27 | {{#if:{{#invoke:TemplUtl|faculty|}}||1}}}}

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Preise & Auszeichnungen

{{#invoke:Vorlage:Siehe auch|f}} Die IEEE Electron Devices Society (EDS) verleiht u. a. den Robert Bosch Micro and Nano Electro Mechanical Systems Award für ausgezeichnete Arbeiten zu MEMS.

Anwendungsbereiche

{{#invoke:Vorlage:Siehe auch|f}} Typische Anwendungen sind Sensoren und Aktoren in einer Vielzahl von Bereichen wie der Automobilindustrie<ref>{{#if:|{{#iferror: {{#iferror:{{#invoke:Vorlage:FormatDate|Execute}}|Vorlage:FormatDate/Wartung/Error}}| |}}}}{{#if:Jessica Mouchegh|Jessica Mouchegh: }}{{#if:|{{#if:Mehr Chips: Bosch erweitert Halbleiterfertigung in Reutlingen|[{{#invoke:Vorlage:Internetquelle|archivURL|1={{#invoke:URLutil|getNormalized|1={{{archiv-url}}}}}}} {{#invoke:Vorlage:Internetquelle|TitelFormat|titel=Mehr Chips: Bosch erweitert Halbleiterfertigung in Reutlingen}}]{{#if:| ({{{format}}})}}{{#if:| {{{titelerg}}}{{#invoke:Vorlage:Internetquelle|Endpunkt|titel={{{titelerg}}}}}}}}}|{{#if:https://www.all-electronics.de/elektronik-entwicklung/mehr-chips-bosch-erweitert-halbleiterfertigung-in-reutlingen-183.html%7C{{#if:{{#invoke:TemplUtl%7Cfaculty%7C}}%7C{{#invoke:Vorlage:Internetquelle%7CTitelFormat%7Ctitel={{#invoke:WLink%7CgetEscapedTitle%7C1=Mehr Chips: Bosch erweitert Halbleiterfertigung in Reutlingen}}}}|[{{#invoke:URLutil|getNormalized|1=https://www.all-electronics.de/elektronik-entwicklung/mehr-chips-bosch-erweitert-halbleiterfertigung-in-reutlingen-183.html}} {{#invoke:Vorlage:Internetquelle|TitelFormat|titel={{#invoke:WLink|getEscapedTitle|1=Mehr Chips: Bosch erweitert Halbleiterfertigung in Reutlingen}}}}]}}{{#if:| ({{{format}}}{{#if:all-electronics Hüthig GmbH2022-02-23{{#if: 2022-12-15 | {{#if:{{#invoke:TemplUtl|faculty|}}||1}}}}

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Wirtschaft & Hersteller

Verbände & Organisationen

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IEEE Electron Devices Society (EDS)
SEMI MEMS & Sensors Industry Group
Semiconductor Industry Association (SIA), USA
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ZVEI Fachverband Electronic Components and Systems

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Monografien aus der Springer Serie Microsystems and Nanosystems

Weblinks

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Einzelnachweise

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