Wolframdisilicid

Strukturformel
Kristallstruktur von Wolframdisilicid
Vorlage:Farbe W 0 Vorlage:Farbe Si
Allgemeines
Name	Wolframdisilicid
Andere Namen	Wolframsilicid (mehrdeutig)
Summenformel	WSi2
Kurzbeschreibung	blau grauer Feststoff<ref name="CRC" />
Externe Identifikatoren/Datenbanken
CAS-Nummer Vorlage:CASRN EG-Nummer 234-909-0 ECHA-InfoCard 100.031.723 PubChem 16212546 DrugBank Wikidata [[:d:|]]
Eigenschaften
Molare Masse	240,01 g·mol−1
Aggregatzustand	fest<ref name="Sigma" />
Dichte	9,3 g·cm−3<ref name="CRC" />
Schmelzpunkt	2160 °C<ref name="CRC" />
Löslichkeit	nahezu unlöslich in Wasser<ref name="CRC" />
Sicherheitshinweise
GHS-Gefahrstoffkennzeichnung<ref name="Sigma">Datenblatt Vorlage:Linktext-Check bei Sigma-AldrichVorlage:Abrufdatum (PDF).</ref> keine GHS-Piktogramme H- und P-Sätze H: keine H-Sätze P: keine P-Sätze
Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen (0 °C, 1000 hPa).

Wolframdisilicid ist eine anorganische chemische Verbindung des Wolframs aus der Gruppe der Silicide. Neben diesem existiert noch das Pentawolframtrisilicid W₅Si₃<ref>Externe Identifikatoren von bzw. Datenbank-Links zu Pentawolframtrisilicid: CAS-Nr.: Vorlage:CASRN, EG-Nr.: 234-912-7, ECHA-InfoCard: Vorlage:ECHA, GESTIS: , PubChem: 6336893, ChemSpider: 4891886, DrugBank: , Wikidata: Q82897389.</ref>.

Gewinnung und Darstellung

Wolframdisilicid kann durch Reaktion von Monosilan, Dichlorsilan oder Disilan mit Wolframhexafluorid gewonnen werden.<ref name="Hugh O. Pierson">Hugh O. Pierson: Handbook of Chemical Vapor Deposition, 2nd Edition: Principles, Technology ... William Andrew, 1999, ISBN 0-8155-1743-2, S. 332 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche). </ref>

<math>\mathrm{2 \ SiH_4 + WF_6 \longrightarrow WSi_2 + 6 \ HF + H_2}</math>

<math>\mathrm{2 \ SiH_2Cl_2 + WF_6 + 3 \ H_2\longrightarrow WSi_2 + 6 \ HF + 2 \ HCl}</math>

<math>\mathrm{Si_2H_6 + WF_6 \longrightarrow WSi_2 + 6 \ HF}</math>

Eigenschaften

Wolframdisilicid ist ein blau grauer Feststoff, der unlöslich in Wasser ist.<ref name="CRC"></ref> Er besitzt eine tetragonale Kristallstruktur vom Calciumcarbid<ref name="Peter Paetzold">Peter Paetzold: Chemie: Eine Einführung. Walter de Gruyter, 2010, ISBN 3-11-020268-9, S. 199 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche). </ref> bzw. Molybdändisilicid-Typ mit der Raumgruppe I4/mmm (Raumgruppen-Nr. 139)Vorlage:Raumgruppe/139.<ref name="Werner Martienssen, Hans Warlimont">Werner Martienssen, Hans Warlimont: Springer Handbook of Condensed Matter and Materials Data. Springer, 2005, ISBN 3-540-44376-2, S. 474 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche). </ref>

Verwendung

Wolframdisilicid wird als Kontaktmaterial in der Mikroelektronik verwendet und per chemische Gasphasenabscheidung (CVD) abgeschieden.<ref name="Horst Briehl">Horst Briehl: Chemie der Werkstoffe. Springer, 2007, ISBN 3-8351-0223-0, S. 255 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche). </ref><ref name="R. A. Levy">R. A. Levy: Microelectronic Materials and Processes. Springer, 1989, ISBN 0-7923-0154-4, S. 204, 237 f. (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche). </ref>

Einzelnachweise

<references />