Wolframdisilicid

Wolframdisilicid ist eine anorganische chemische Verbindung des Wolframs aus der Gruppe der Silicide. Neben diesem existiert noch das Pentawolframtrisilicid W₅Si₃<ref>Vorlage:Substanzinfo</ref>.

Gewinnung und Darstellung

Wolframdisilicid kann durch Reaktion von Monosilan, Dichlorsilan oder Disilan mit Wolframhexafluorid gewonnen werden.<ref name="Hugh O. Pierson">Vorlage:Literatur</ref>

<math>\mathrm{2 \ SiH_4 + WF_6 \longrightarrow WSi_2 + 6 \ HF + H_2}</math>

<math>\mathrm{2 \ SiH_2Cl_2 + WF_6 + 3 \ H_2\longrightarrow WSi_2 + 6 \ HF + 2 \ HCl}</math>

<math>\mathrm{Si_2H_6 + WF_6 \longrightarrow WSi_2 + 6 \ HF}</math>

Wolframdisilicid ist ein blau grauer Feststoff, der unlöslich in Wasser ist.<ref name="CRC">Vorlage:BibISBN</ref> Er besitzt eine tetragonale Kristallstruktur vom Calciumcarbid<ref name="Peter Paetzold">Vorlage:Literatur</ref> bzw. Molybdändisilicid-Typ mit der Vorlage:Raumgruppe.<ref name="Werner Martienssen, Hans Warlimont">Vorlage:Literatur</ref>

Wolframdisilicid wird als Kontaktmaterial in der Mikroelektronik verwendet und per chemische Gasphasenabscheidung (CVD) abgeschieden.<ref name="Horst Briehl">Vorlage:Literatur</ref><ref name="R. A. Levy">Vorlage:Literatur</ref>