Dichlorsilan

Strukturformel
	Strukturformel von Dichlorsilan
	Keile zur Verdeutlichung der Geometrie
Allgemeines
Name	Dichlorsilan
Andere Namen	DCS
Summenformel	SiH2Cl2
Kurzbeschreibung	hochentzündliches, farbloses Gas mit stechendem Geruch<ref name="GESTIS" />
Externe Identifikatoren/Datenbanken
EG-Nummer	223-888-3
ECHA-InfoCard	100.021.717
PubChem	61330
DrugBank	Lua-Fehler in Modul:Wikidata, Zeile 1686: attempt to index field 'wikibase' (a nil value) Lua-Fehler in Modul:Wikidata, Zeile 1686: attempt to index field 'wikibase' (a nil value)
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Eigenschaften
Molare Masse	101,01 g·mol−1
Aggregatzustand	gasförmig<ref name="GESTIS" />
Dichte	1,261 g·cm−3 (Dichte am Siedepunkt)<ref name="GESTIS">Eintrag zu Vorlage:Linktext-Check in der GESTIS-Stoffdatenbank des IFAVorlage:Abrufdatum (JavaScript erforderlich)</ref>; 4,34 kg·m−3 (gasförmig bei 15 °C, 1,013 bar)<ref name="al" />;
Schmelzpunkt	−122,0 °C<ref name="GESTIS" />
Siedepunkt	8,4 °C<ref name="GESTIS" />
Dampfdruck	1,666 bar (20 °C)<ref name="GESTIS" />
Löslichkeit	Hydrolyse in Wasser<ref name="GESTIS" />
Sicherheitshinweise
H- und P-Sätze	H: 220‐280‐330‐314
	EUH: 071
	P: 210‐260‐280‐304+340+315‐303+361+353+315‐305+351+338+315‐377‐381‐403‐405<ref name="GESTIS" />
	Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen (0 °C, 1000 hPa).

Dichlorsilan ist eine chemische Verbindung aus der Gruppe der chlorierten Silane.

Gewinnung und Darstellung

Dichlorsilan kann durch Chlorierung von Monosilan mit Chlorwasserstoff in Gegenwart von Aluminiumchlorid als Katalysator bei erhöhter Temperatur hergestellt werden.<ref name="stock">Alfred Stock, Carl Somieski: Siliciumwasserstoffe VI.: Chlorierung und Methylierung des Monosilans. In: Berichte der deutschen chemischen Gesellschaft (A and B Series). Band 52, Nr. 4, 12. April 1919, S. 695, doi:10.1002/cber.19190520410. </ref>

<math>\mathrm{ SiH_4 + \ 2 \ HCl \ \xrightarrow[AlCl_3]{100\, {}^{\circ}C, 30 h}\ SiH_2Cl_2 \ + \ 2 \ H_2}</math>

Daneben kann es durch Disproportionierung von Trichlorsilan an geeigneten Katalysatoren gewonnen werden.<ref>Patentanmeldung EP0474265A2: Verfahren zur Herstellung von Dichlorsilan. Angemeldet am 26. März 1988, veröffentlicht am 11. März 1992, Anmelder: Hüls Aktiengesellschaft, Erfinder: Reinhard Matthes et Al.‌</ref>

Eigenschaften

Dichlorsilan ist ein hochentzündliches, ätzendes, unter Druck verflüssigtes Gas. Es bildet bei Kontakt mit feuchter Luft einen Chlorwasserstoffnebel. In Wasser hydrolysiert es zu Chlorwasserstoff und einer Mischung von polymeren Siloxanen. Ab einer Temperatur von 55 °C zersetzt sich die Verbindung, wobei Chlorwasserstoff und in geringen Mengen auch Wasserstoff und Chlor entstehen. Es besteht die Gefahr der Selbstentzündung. Der Explosionsbereich liegt zwischen 2,5 Vol.‑% (105 g/m³) als untere Explosionsgrenze (UEG) und 80,0 Vol.‑% (3359 g/m³) als obere Explosionsgrenze (OEG).<ref name="Brandes">E. Brandes, W. Möller: Sicherheitstechnische Kenngrößen – Band 1: Brennbare Flüssigkeiten und Gase, Wirtschaftsverlag NW – Verlag für neue Wissenschaft GmbH, Bremerhaven 2003.</ref><ref name="GESTIS" /> Es ist empfindlich gegenüber Sauerstoff und UV-Licht. Die Verbindung besitzt eine kritische Temperatur von 176,3 °C, einen kritischen Druck von 43,78 bar, eine kritische Dichte von 0,479 kg/l und eine Tripelpunkttemperatur von −122 °C (Schmelztemperatur).<ref name="GESTIS" /> Die spezifische Verdampfungsenthalpie beträgt 249 kJ/kg.<ref>Datenblatt <templatestyles src="Webarchiv/styles.css" />Dichlorsilan (Memento vom 18. Mai 2015 im Internet Archive) bei Messer Schweiz AG (PDF; 207 kB).</ref>

Verwendung

Dichlorsilan wird in der Halbleiterproduktion bei der chemischen Gasphasenabscheidung bzw. Epitaxie auch im Gemisch mit Ammoniak bei der Herstellung von Siliciumnitrid oder Siliciumdioxid verwendet.<ref name="al">Airliquide: Dichlorsilan N30</ref>