Vorlage:BibISBN/9780819475572
| Werk | |
|---|---|
| Autor | Yayi Wei, Robert L. Brainard |
| Titel | Advanced Processes for 193-nm Immersion Lithography |
| Verlag | SPIE Press |
| Ort | Bellingham |
| Datum | 2009 |
| Sprache | English |
| Reihe
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| Reihe | SPIE Press monograph |
| Band | 189 |
| Identifikation
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| ISBN | ISBN 978-0-8194-7557-2 |