Tetrakis(dimethylamino)titan

Strukturformel
Struktur von TDMAT
Allgemeines
Name	Tetrakis(dimethylamino)titan
Andere Namen	TDMAT
Summenformel	C8H24N4Ti
Kurzbeschreibung	hellgelbe Flüssigkeit<ref name="alfa">Datenblatt Vorlage:Linktext-Check bei Alfa AesarVorlage:Abrufdatum (Seite nicht mehr abrufbar).</ref> mit fischigem Geruch<ref name=gelest>gelest.com: Sicherheitsdatenblatt (MSDS) (Memento vom 4. März 2016 im Internet Archive) (PDF; 82 kB)</ref>
Externe Identifikatoren/Datenbanken
CAS-Nummer Vorlage:CASRN EG-Nummer 221-904-3 ECHA-InfoCard 100.019.914 PubChem 123185 ChemSpider 13870283 DrugBank Wikidata [[:d:|]]
Eigenschaften
Molare Masse	224,17 g·mol−1
Aggregatzustand	flüssig
Dichte	0,96 g·cm−3 (bei 20 °C)<ref name="alfa"/>
Schmelzpunkt	<4 °C<ref name="alfa"/>
Siedepunkt	50 °C (38 hPa)<ref name="alfa"/>
Dampfdruck	13 Pa (25 °C)<ref name=gelest/>
Löslichkeit	reagiert mit Wasser<ref name="alfa"/>
Sicherheitshinweise
GHS-Gefahrstoffkennzeichnung<ref name="Sigma">Datenblatt Vorlage:Linktext-Check bei Sigma-AldrichVorlage:Abrufdatum (PDF).</ref> Gefahrensymbol Gefahrensymbol Gefahr H- und P-Sätze H: 225​‐​260​‐​314 P: 210​‐​223​‐​231+232​‐​280​‐​303+361+353​‐​305+351+338<ref name="Sigma" />
Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen (0 °C, 1000 hPa).

Tetrakis(dimethylamino)titan (TDMAT) ist eine chemische Verbindung, die z. B. bei der Halbleiterherstellung mit der metallorganischen chemische Gasphasenabscheidung (, MOCVD) eingesetzt wird. Formal ist es das Tetrakis(dimethylamid) der Orthotitansäure mit der Konstitutionsformel [(CH₃)₂N]₄Ti. Es lässt sich durch Umsetzung von Titan(IV)-chlorid mit Lithiumdimethylamid herstellen.<ref name ="Hefner">Patent EP0476671: Homogeneous catalysts and olefin polymerization process. Veröffentlicht am 25. März 1992, Erfinder: J. G. Hefner, B. W. Kolthammer, D. R. Gifford.‌</ref>

Eigenschaften und Sicherheitshinweise

Die brennbare Substanz besitzt einen fischartigen Geruch<ref name=gelest/> und ist wegen des niedrigen Flammpunktes (je nach Quelle zwischen −30 °C<ref name="Sigma"/> und 87 °C<ref name=gelest/>) leicht entzündlich. Mit Wasser – schon aus der Luft – zersetzt sich TDMAT unter heftiger Reaktion.<ref name="alfa"/>

Beim Einatmen der Substanz wirkt diese extrem schädigend auf Atemwege, beim Kontakt mit Haut und Augen ätzend. Daneben können Symptome wie Husten, Atemnot, Kopfschmerzen, Übelkeit und Erbrechen auftreten.<ref name="Sigma"/><ref>Sicherheitsdatenblatt (MSDS). Praxair (PDF, englisch; 52 kB).</ref>

Verwendung

TDMAT wird in der Methode der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD) als gasförmiges Edukt eingesetzt. Während der Reaktion bildet sich auf einem Substrat der gewünschte, extrem harte Überzug aus Titannitrid (TiN). Der Vorteil gegenüber anderen Edukten wie Titan(IV)-chlorid (TiCl₄) liegt in der Möglichkeit, die Reaktionstemperatur auf ~ 450 °C zu reduzieren, während bei TiCl₄ Temperaturen > 900 °C benötigt werden.<ref>M. Meyyappan, D. J. Economou, S. Watts Butler: Proceedings of the Symposium Om Process Control, Diagnostics, and Modeling in Semiconductor Manufacturing. The Electrochemical Society, 1995, ISBN 978-1-56677-096-5, S. 399ff.</ref>

Einzelnachweise

<references />