Zum Inhalt springen

Mikroventil

aus Wikipedia, der freien Enzyklopädie

Mikroventile sind Ventile, deren Dimensionen sich im Mikrometerbereich befinden. Mikroventile sind wichtige Bauteile der Mikrofluidik und finden auch Verwendung in Mikrosystemen.

Aufbau, Funktion und Anwendung

Mikroventile werden meist auf Basis von einkristallinem Silicium gebaut (meist 4-Zoll- oder 6-Zoll-Wafer, also kleiner als sie in der Halbleitertechnologie Verwendung finden). In und durch das Substrat werden Kanäle eingebracht, beispielsweise durch anisotropes Ätzen des Siliciums in einer Kalilauge.

Ein typisches Funktionsprinzip ist die Steuerung des Strömungsflusses über einen mikromechanisch beweglichen Stößel, der den Strömungskanal verschließen kann. Die Auslenkung des Stößels kann beispielsweise über eine versteifte Siliciummembran, die den Stößel trägt (kann gleich als ein Bauteil gefertigt werden), und durch eine Piezokeramik angetrieben werden. Dadurch kann ein Strömungspfad aktiv geöffnet und geschlossen werden.

Durch die geringen Abmessungen können Mikroventile sehr gut in portable Geräte und kompakte Systeme integriert werden, was ganz neue Anwendungsmöglichkeiten schafft, z. B. Vorsteuerventil für die Industriepneumatik, Schnellablassventil für Blutdruckmessung, Regelventil für miniaturisierte Durchflusssensoren, Steuerung mikrofluidischer bioanalytischer Systeme<ref>{{#if:2019-05-03|{{#iferror: {{#iferror:{{#invoke:Vorlage:FormatDate|Execute}}|}}| |}}}}{{#if:|{{{autor}}}: }}{{#if:https://web.archive.org/web/20190503001602/https://www.vdi-nachrichten.com/Technik/Ein-starkes-Gedaechtnis%7C{{#if:Ein starkes Gedächtnis|[{{#invoke:Vorlage:Internetquelle|archivURL|1={{#invoke:URLutil|getNormalized|1=https://web.archive.org/web/20190503001602/https://www.vdi-nachrichten.com/Technik/Ein-starkes-Gedaechtnis}}}} {{#invoke:Vorlage:Internetquelle|TitelFormat|titel=Ein starkes Gedächtnis}}]{{#if:| ({{{format}}})}}{{#if:| {{{titelerg}}}{{#invoke:Vorlage:Internetquelle|Endpunkt|titel={{{titelerg}}}}}}}}}|{{#if:https://www.vdi-nachrichten.com/Technik/Ein-starkes-Gedaechtnis%7C{{#if:{{#invoke:TemplUtl%7Cfaculty%7C1}}%7C{{#invoke:Vorlage:Internetquelle%7CTitelFormat%7Ctitel={{#invoke:WLink%7CgetEscapedTitle%7C1=Ein starkes Gedächtnis}}}}|[{{#invoke:URLutil|getNormalized|1=https://www.vdi-nachrichten.com/Technik/Ein-starkes-Gedaechtnis}} {{#invoke:Vorlage:Internetquelle|TitelFormat|titel={{#invoke:WLink|getEscapedTitle|1=Ein starkes Gedächtnis}}}}]}}{{#if:| ({{{format}}}{{#if:12019-05-02https://web.archive.org/web/20190503001602/https://www.vdi-nachrichten.com/Technik/Ein-starkes-Gedaechtnis{{#if: 2019-06-14 | {{#if:{{#invoke:TemplUtl|faculty|}}||1}}}} 

          | )
          | {{#if:{{#ifeq:de|de||{{#if:|1}}}}| ; 
              | )}}}}}}{{#if:| {{{titelerg}}}{{#invoke:Vorlage:Internetquelle|Endpunkt|titel={{{titelerg}}}}}}}}}}}{{#if:https://www.vdi-nachrichten.com/Technik/Ein-starkes-Gedaechtnis%7C{{#if:{{#invoke:URLutil%7CisResourceURL%7C1=https://www.vdi-nachrichten.com/Technik/Ein-starkes-Gedaechtnis}}%7C%7C}}}}{{#if:Ein starkes Gedächtnis|{{#if:{{#invoke:WLink|isValidLinktext|1=Ein starkes Gedächtnis|lines=0}}||}}}}{{#if: | In: {{#invoke:Vorlage:Internetquelle|TitelFormat|titel={{{werk}}}}}}}{{#if: | {{{hrsg}}}{{#if: 2019-05-02https://web.archive.org/web/20190503001602/https://www.vdi-nachrichten.com/Technik/Ein-starkes-Gedaechtnis%7C,%7C{{#if: 2019-06-14 | {{#if:{{#invoke:TemplUtl|faculty|}}|;|,}}}}}}}}{{#if: 2019-05-02| {{#if:{{#invoke:DateTime|format|2019-05-02|noerror=1}}
            |{{#invoke:DateTime|format|2019-05-02|T._Monat JJJJ}}
            |{{#invoke:TemplUtl|failure|1=Fehler bei Vorlage:Internetquelle, datum=2019-05-02|class=Zitationswartung}} }}{{#if: https://web.archive.org/web/20190503001602/https://www.vdi-nachrichten.com/Technik/Ein-starkes-Gedaechtnis%7C,%7C{{#if: 2019-06-14 | {{#if:{{#invoke:TemplUtl|faculty|}}|;|,}}}}}}}}{{#if: | S. {{{seiten}}}{{#if: https://web.archive.org/web/20190503001602/https://www.vdi-nachrichten.com/Technik/Ein-starkes-Gedaechtnis%7C,%7C{{#if: 2019-06-14 | {{#if:{{#invoke:TemplUtl|faculty|}}|;|,}}}}}}}}{{#if: https://web.archive.org/web/20190503001602/https://www.vdi-nachrichten.com/Technik/Ein-starkes-Gedaechtnis{{#invoke:TemplUtl%7Cfaculty%7C1}}%7C+{{#if:2019-05-02%7C{{#if:https://web.archive.org/web/20190503001602/https://www.vdi-nachrichten.com/Technik/Ein-starkes-Gedaechtnis%7Carchiviert%7Cehemals}}%7C{{#if:https://web.archive.org/web/20190503001602/https://www.vdi-nachrichten.com/Technik/Ein-starkes-Gedaechtnis%7CArchiviert%7CEhemals}}}}+{{#if:https://web.archive.org/web/20190503001602/https://www.vdi-nachrichten.com/Technik/Ein-starkes-Gedaechtnis%7Cvom%7Cim}}+Vorlage:Referrer{{#if:{{#invoke:TemplUtl|faculty|1}}| (nicht mehr online verfügbar)}}{{#if: 2019-05-03| am {{#iferror: {{#iferror:{{#invoke:Vorlage:FormatDate|Execute}}|}}|2019-05-03{{#if:961207||(?)}}}}}}{{#if: 2019-06-14|;}}}}{{#if: 2019-06-14| {{#if:2019-05-02https://web.archive.org/web/20190503001602/https://www.vdi-nachrichten.com/Technik/Ein-starkes-Gedaechtnis{{#invoke:TemplUtl%7Cfaculty%7C1}}%7Cabgerufen%7CAbgerufen}} {{#switch: {{#invoke:Str|len| {{#invoke:DateTime|format| 2019-06-14 |ISO|noerror=1}} }}
       |4=im Jahr
       |7=im
       |10=am
       |#default={{#invoke:TemplUtl|failure|1=Fehler bei Vorlage:Internetquelle, abruf=2019-06-14|class=Zitationswartung}} }} {{#invoke:DateTime|format|2019-06-14|T._Monat JJJJ}}
    | {{#invoke:TemplUtl|failure|1=Vorlage:Internetquelle | abruf=2026-MM-TT ist Pflichtparameter}} }}{{#if:{{#ifeq:de|de||{{#if:|1}}}}|{{#if:12019-05-02https://web.archive.org/web/20190503001602/https://www.vdi-nachrichten.com/Technik/Ein-starkes-Gedaechtnis{{#if: 2019-06-14 | {{#if:{{#invoke:TemplUtl|faculty|}}||1}}}}
       |  (
       | {{#if: | |  (}}
       }}{{#ifeq:{{#if:de|de|de}}|de||
          {{#invoke:Multilingual|format|{{{sprache}}}|slang=!|split=[%s,]+|shift=m|separator=, }}}}{{#if: |{{#ifeq:{{#if:de|de|de}}|de||, }}{{{kommentar}}}}})}}{{#if: 2019-05-02https://web.archive.org/web/20190503001602/https://www.vdi-nachrichten.com/Technik/Ein-starkes-Gedaechtnis{{#if: 2019-06-14 | {{#if:{{#invoke:TemplUtl|faculty|}}||1}} }}|{{#if: |: {{
 #if: 
 | „{{
     #ifeq: {{#if:{{#if: {{#invoke:templutl|faculty|}}|de-ch|de}}|{{#if: {{#invoke:templutl|faculty|}}|de-ch|de}}|de}} | de
     | Vorlage:Str trim
     | {{#invoke:Vorlage:lang|flat}}
     }}“
 | {{#ifeq: {{#if:{{#if: {{#invoke:templutl|faculty|}}|de-ch|de}}|{{#if: {{#invoke:templutl|faculty|}}|de-ch|de}}|de}} | de
     | „Vorlage:Str trim“
     | {{#invoke:Text|quote
         |1={{#if: 
              | {{#invoke:Vorlage:lang|flat}}
              | {{#invoke:Vorlage:lang|flat}} }}
         |2={{#if: {{#invoke:TemplUtl|faculty|}}|de-CH|de}}
         |3=1}} }}

}}{{#if: 

   |  (<templatestyles src="Person/styles.css" />{{#if:  | :  }}{{#if:  | , deutsch: „“ }})
   | {{#if: 
       |  ({{#if:  | , deutsch: „“ }})
       | {{#if:  |  (deutsch: „“) }}
 }}

}}{{#if: {{{zitat}}} 

   | {{#if: 
       | {{#if: {{{zitat}}}
           | Vorlage:": Text= und 1= gleichzeitig, bzw. Pipe zu viel }} }}
   | Vorlage:": Text= fehlt }}{{#if:  | {{#if: {{#invoke:Text|unstrip|{{{ref}}}}}
             | Vorlage:": Ungültiger Wert: ref=
             | {{{ref}}} }}

}}|.{{#if:{{#invoke:TemplUtl|faculty|1}}|{{#if:https://web.archive.org/web/20190503001602/https://www.vdi-nachrichten.com/Technik/Ein-starkes-Gedaechtnis%7C%7C{{#ifeq: 1 | JaKeinHinweis |{{#switch: 

   |0|=Vorlage:Toter Link/Core{{#if: https://www.vdi-nachrichten.com/Technik/Ein-starkes-Gedaechtnis
       | {{#if:  | [1] }} (Seite {{#switch:|no|0|=|dauerhaft }}nicht mehr abrufbar{{#if:  | , festgestellt im {{#invoke:DateTime|format||F Y}} }}. Suche im Internet Archive (T)){{#if: 
           | {{#if: deadurlausgeblendet | | Vorlage:Toter Link/archivebot }}
         }}
       |   (Seite {{#switch:|no|0|=|#default=dauerhaft }}nicht mehr abrufbar{{#if:  | , festgestellt im {{#invoke:DateTime|format||F Y}} }}.)
     }}{{#switch: 
         |no|0|=
         |#default={{#if:  ||  }}
    }}{{#invoke:TemplatePar|check
         |opt      = inline= url= text= datum= date= archivebot= bot= botlauf= fix-attempted= checked=
         |cat      = Wikipedia:Vorlagenfehler/Vorlage:Toter Link
         |errNS    = 0
         |template = Vorlage:Toter Link
         |format   = 
         |preview  = 1
    }}{{#if: https://www.vdi-nachrichten.com/Technik/Ein-starkes-Gedaechtnis
      | {{#if:{{#invoke:URLutil|isWebURL|https://www.vdi-nachrichten.com/Technik/Ein-starkes-Gedaechtnis}}
          || {{#if:  ||  }} 
        }}
      | {{#if: 
           | {{#if:  ||  }}
           | {{#if:  ||  }}
        }}
    }}{{#if: 
       | {{#if:{{#invoke:DateTime|format||F Y|noerror=1}}
             || {{#if:  ||  }} 
         }}
    }}{{#switch: deadurl
         |checked|deadurl|= 
         |#default=  {{#if:  ||  }}
    }}|#default= https://wiki-de.moshellshocker.dns64.de/index.php?title=Wikipedia:Defekte_Weblinks&dwl=https://www.vdi-nachrichten.com/Technik/Ein-starkes-Gedaechtnis Die nachstehende Seite ist {{#switch:|no|0|=|dauerhaft }}nicht mehr abrufbar]{{#if:  | , festgestellt im {{#invoke:DateTime|format||F Y}} }}. (Suche im Internet Archive. (T).)  {{#if: 
            | {{#if: deadurlausgeblendet | | Vorlage:Toter Link/archivebot }}
         }}Vorlage:Toter Link/Core{{#switch: 
          |no|0|=
          |#default= {{#if:  ||  }}
        }}{{#invoke:TemplatePar|check
         |all      = inline= url=
         |opt      = datum= date= archivebot= bot= botlauf= fix-attempted= checked=
         |cat      = Wikipedia:Vorlagenfehler/Vorlage:Toter Link
         |errNS    = 0
         |template = Vorlage:Toter Link
         |format   = 
         |preview  = 1
       }}{{#if: https://www.vdi-nachrichten.com/Technik/Ein-starkes-Gedaechtnis
       | {{#if:{{#invoke:URLutil|isWebURL|https://www.vdi-nachrichten.com/Technik/Ein-starkes-Gedaechtnis}}
          || {{#if:  ||  }} 
        }}
    }}{{#if: 
         | {{#if:{{#invoke:DateTime|format||F Y|noerror=1}}
             || {{#if:  ||  }} 
           }}
    }}{{#switch: deadurl
         |checked|deadurl|= 
         |#default=  {{#if:  ||  }}
    }}[https://www.vdi-nachrichten.com/Technik/Ein-starkes-Gedaechtnis }}|{{#switch: 
   |0|=Vorlage:Toter Link/Core{{#if: https://www.vdi-nachrichten.com/Technik/Ein-starkes-Gedaechtnis
       | {{#if:  | [2] }} (Seite {{#switch:|no|0|=|dauerhaft }}nicht mehr abrufbar{{#if:  | , festgestellt im {{#invoke:DateTime|format||F Y}} }}. Suche im Internet Archive (T)){{#if: 
           | {{#if:  | | Vorlage:Toter Link/archivebot }}
         }}
       |   (Seite {{#switch:|no|0|=|#default=dauerhaft }}nicht mehr abrufbar{{#if:  | , festgestellt im {{#invoke:DateTime|format||F Y}} }}.)
     }}{{#switch: 
         |no|0|=
         |#default={{#if:  ||  }}
    }}{{#invoke:TemplatePar|check
         |opt      = inline= url= text= datum= date= archivebot= bot= botlauf= fix-attempted= checked=
         |cat      = Wikipedia:Vorlagenfehler/Vorlage:Toter Link
         |errNS    = 0
         |template = Vorlage:Toter Link
         |format   = 
         |preview  = 1
    }}{{#if: https://www.vdi-nachrichten.com/Technik/Ein-starkes-Gedaechtnis
      | {{#if:{{#invoke:URLutil|isWebURL|https://www.vdi-nachrichten.com/Technik/Ein-starkes-Gedaechtnis}}
          || {{#if:  ||  }} 
        }}
      | {{#if: 
           | {{#if:  ||  }}
           | {{#if:  ||  }}
        }}
    }}{{#if: 
       | {{#if:{{#invoke:DateTime|format||F Y|noerror=1}}
             || {{#if:  ||  }} 
         }}
    }}{{#switch: 
         |checked|deadurl|= 
         |#default=  {{#if:  ||  }}
    }}|#default= https://wiki-de.moshellshocker.dns64.de/index.php?title=Wikipedia:Defekte_Weblinks&dwl=https://www.vdi-nachrichten.com/Technik/Ein-starkes-Gedaechtnis Die nachstehende Seite ist {{#switch:|no|0|=|dauerhaft }}nicht mehr abrufbar]{{#if:  | , festgestellt im {{#invoke:DateTime|format||F Y}} }}. (Suche im Internet Archive. (T).)  {{#if: 
            | {{#if:  | | Vorlage:Toter Link/archivebot }}
         }}Vorlage:Toter Link/Core{{#switch: 
          |no|0|=
          |#default= {{#if:  ||  }}
        }}{{#invoke:TemplatePar|check
         |all      = inline= url=
         |opt      = datum= date= archivebot= bot= botlauf= fix-attempted= checked=
         |cat      = Wikipedia:Vorlagenfehler/Vorlage:Toter Link
         |errNS    = 0
         |template = Vorlage:Toter Link
         |format   = 
         |preview  = 1
       }}{{#if: https://www.vdi-nachrichten.com/Technik/Ein-starkes-Gedaechtnis
       | {{#if:{{#invoke:URLutil|isWebURL|https://www.vdi-nachrichten.com/Technik/Ein-starkes-Gedaechtnis}}
          || {{#if:  ||  }} 
        }}
    }}{{#if: 
         | {{#if:{{#invoke:DateTime|format||F Y|noerror=1}}
             || {{#if:  ||  }} 
           }}
    }}{{#switch: 
         |checked|deadurl|= 
         |#default=  {{#if:  ||  }}
    }}[https://www.vdi-nachrichten.com/Technik/Ein-starkes-Gedaechtnis }} }}}}}}}}}}{{#if:|
        {{#invoke:Vorlage:Internetquelle|archivBot|stamp={{{archiv-bot}}}|text={{#if:https://web.archive.org/web/20190503001602/https://www.vdi-nachrichten.com/Technik/Ein-starkes-Gedaechtnis%7CVorlage:Webarchiv/archiv-bot}}

}}}}{{#invoke:TemplatePar|check |all= url= titel= |opt= autor= hrsg= format= sprache= titelerg= werk= seiten= datum= abruf= zugriff= abruf-verborgen= archiv-url= archiv-datum= archiv-bot= kommentar= zitat= AT= CH= offline= |cat= {{#ifeq: 0 | 0 | Wikipedia:Vorlagenfehler/Vorlage:Internetquelle}} |template= Vorlage:Internetquelle |format=0 |preview=1 }}</ref>.

Weblinks

  • Fraunhofer IZM (Hrsg.): Mikroventil. 2007, abgerufen am 19. Feb. 2009.

Einzelnachweise

<references />

Abgerufen von „https://wiki-de.moshellshocker.dns64.de/index.php?title=Mikroventil&oldid=961207“