Anton Heuberger

Anton Heuberger (* 20. Februar 1942 in München; † 3. Februar 2011) war ein deutscher Ingenieur und Physiker.

Heuberger studierte an der Fakultät für Maschinenwesen und Elektrotechnik der Technischen Universität München, wo er 1973 mit einer Arbeit über den Einfluss des Absorptionsortes von γ-Quanten [Gamma-Quanten] auf die Energieauflösung diffundierter Halbleiterdetektoren mit innerer Verstärkung promoviert wurde.

Heuberger war von 1993 bis 2007 Leiter des Fraunhofer-Instituts für Siliziumtechnologie in Itzehoe. Daneben bekleidete er den Lehrstuhl für Halbleitertechnik der Christian-Albrechts-Universität zu Kiel.

Heuberger war Mitglied der Deutschen Akademie der Technikwissenschaften (Acatech).<ref>siehe <templatestyles src="Webarchiv/styles.css" />Vorlage:Webarchiv/Wartung/TodayDer Wert des Parameters archive-today muss ein Datum der Form YYYYMMDD oder Zeitstempel der Form YYYY.MM.DD-hhmmss bzw. YYYYMMDDhhmmss sein., abgerufen am 2. August 2015</ref>

Ehrungen

1988: Forschungspreis der Philip Morris Stiftung
für die Entwicklung der Röntgenstrahllithographie und der Mikrostrukturtechnik
2007: Verdienstkreuz am Bande der Bundesrepublik Deutschland

Weblinks

Verdienstkreuz am Bande an Professor Dr. Anton Heuberger, Garrit Leemreijze und Horst Schurad überreicht, Pressemitteilung der Landesregierung Schleswig-Holstein
Traueranzeige in der Süddeutschen Zeitung

Einzelnachweise

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Personendaten
NAME	Heuberger, Anton
KURZBESCHREIBUNG	deutscher Ingenieur und Physiker
GEBURTSDATUM	20. Februar 1942
GEBURTSORT	München
STERBEDATUM	3. Februar 2011