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2026-01-24T00:15:47Z

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{{Infobox Chemikalie
| Strukturformel = [[Datei:Tetrafluorsilan Natta.svg|100px|Struktur von Tetrafluorsilan]]
| Strukturhinweis = [[Keilstrichformel|Keile]] zur Verdeutlichung der [[Tetraeder|Geometrie]]
| Andere Namen = * Silicium(IV)-fluorid
* Siliciumtetrafluorid
| Summenformel = SiF4
| CAS = {{CASRN|7783-61-1}}
| EG-Nummer = 232-015-5
| ECHA-ID = 100.029.104
| PubChem = 24556
| ChemSpider =
| Beschreibung = farbloses Gas mit stechendem Geruch<ref name="GESTIS" />
| Molare Masse = 104,1 g·[[mol]]−1
| Aggregat = gasförmig
| Dichte = 4,372 kg·m−3 (15 °C)<ref name="GESTIS">{{GESTIS|Name=Siliciumtetrafluorid|ZVG=3560|CAS=7783-61-1|Abruf=2026-01-02}}</ref>
| Schmelzpunkt =
| Siedepunkt =
| Sublimationspunkt = −95,2 [[Grad Celsius|°C]]<ref name="GESTIS" />
| Dampfdruck =
| Löslichkeit = hydrolysiert in Wasser<ref name="GESTIS" />
| Quelle GHS-Kz = <ref name="GESTIS" />
| GHS-Piktogramme = {{GHS-Piktogramme|04|05|06}}
| GHS-Signalwort = Gefahr
| H = {{H-Sätze|280|330|314}}
| EUH = {{EUH-Sätze|071}}
| P = {{P-Sätze|260|280|303+361+353|304+340|305+351+338|403+233}}
| Quelle P = <ref name="GESTIS" />
| ToxDaten =
}}

'''Tetrafluorsilan''' (SiF4) ist eine [[Silicium]]verbindung aus der Gruppe der [[Siliciumtetrahalogenide]]. Es ist ein farbloses, giftiges, unbrennbares Gas. In der [[Halbleiterindustrie]] entsteht Siliciumtetrafluorid beim Entfernen von [[Siliciumdioxid]]-Schichten auf [[Wafer]]n mittels [[Flusssäure]].

== Herstellung ==
=== Verfahren 1 ===
Hergestellt wird es aus [[Calciumfluorid]] und [[Siliciumdioxid]] (Sand) mit konzentrierter [[Schwefelsäure]]. Folgende Reaktionen laufen ab:
Umsetzung von [[Fluorit]] zu [[Fluorwasserstoff]]

:<math>\mathrm{H_2SO_4 + CaF_2 \rightarrow 2 \; HF + CaSO_4}</math>

Der Fluorwasserstoff reagiert dann mit dem SiO2

:<math>\mathrm{4 \; HF + SiO_2 \rightarrow SiF_4 + 2 \; H_2O}</math>

Unter Säureüberschuss wird die [[Hydrolyse]] von SiF4 verhindert.

Das so erhaltene SiF4 ist allerdings nur 80 bis 90%ig. Es enthält [[sauerstoff]]haltige Produkte wie F3Si–O–SiF3 oder F3Si–O–SiF2–O–SiF3. Beim Transport von SiF4 in Pipelines zerfallen diese Moleküle in SiF4 und SiO2. Dabei setzt das SiO2 die Rohrleitungen zu. Die chemische Industrie hatte das Verfahren des Transportes von SiF4 in Pipelines anstelle des gefährlicheren Fluorwasserstoffs entwickelt, um entferntere Produktionsstätten per Pipeline mit [[Fluoride]]n zu versorgen. Aufgrund der geschilderten Probleme fand dieses Verfahren jedoch keine Verbreitung.<ref>W. Legat, Dissertation 1978, Gießen.</ref>

=== Verfahren 2 ===
Beim Erhitzen von [[Bariumhexafluorosilicat]] entsteht SiF4, es kann auch [[Ammoniumhexafluorosilicat]]<ref>{{GESTIS|Name=Ammoniumhexafluorosilikat|ZVG=500032|CAS=16919-19-0|Abruf=2018-01-08}}</ref> oder die [[Hexafluorokieselsäure]] selbst verwendet werden:<ref>G. Brauer (Hrsg.): ''Handbook of Preparative Inorganic Chemistry'' 2nd ed., vol. 1, Academic Press 1963, S. 212–213.</ref>
:<math>\mathrm{BaSiF_6 \rightarrow BaF_2 + SiF_4 \ }</math>

:<math>\mathrm{H_2SiF_6 \rightarrow 2 \ HF + SiF_4}</math>

=== Verfahren 3 ===
Im Labormaßstab lässt sich Tetrafluorsilan durch Umsetzung von [[Tetrachlorsilan]] mit [[Calciumfluorid]] bei 450 bis 500 °C darstellen:<ref name="DOI10.1002/zaac.19693650311">{{Literatur |Autor=H. P. Boehm |Titel=Ein einfaches Verfahren zur Darstellung von Siliciumtetrafluorid |Sammelwerk=[[Zeitschrift für anorganische und allgemeine Chemie]] |Band=365 |Nummer=3–4 |Datum=1969-04 |Seiten=176–179 |DOI=10.1002/zaac.19693650311}}</ref>
:<math>\mathrm{SiCl_4 + 2 CaF_2 \rightarrow SiF_4 + \ 2 \ CaCl_2}</math>

== Eigenschaften ==
Siliciumtetrafluorid hat einen stechenden Geruch und ist bei Feuchtigkeit stark rauchend, wobei der Rauch aus Fluorokieselsäure und Siliciumdioxid besteht.<ref name="GESTIS" /> Es wechselt beim Abkühlen durch [[Resublimieren|Resublimation]] von der gasförmigen Phase direkt in die feste Phase. Das Gas ist ab einem Druck von 50 atm verflüssigbar. Seine kritische Temperatur liegt bei −14,15 °C, sein kritischer Druck bei 37,2 bar, seine Tripelpunkttemperatur bei −86,8 °C und sein Tripelpunktdruck bei 2,240 bar.<ref name="GESTIS" />

== Weblinks ==
{{Commonscat|Silicon tetrafluoride|Siliciumtetrafluorid}}
* {{ICSC|ID=0576 |Name=Tetrafluorosilane}}

== Einzelnachweise ==
<references />

{{Navigationsleiste Halogensilane}}

{{Normdaten|TYP=s|GND=4181410-1}}

[[Kategorie:Halogensilan]]
[[Kategorie:Fluorverbindung]]

Tetrafluorsilan - Versionsgeschichte

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