https://wiki-de.moshellshocker.dns64.de/index.php?action=history&feed=atom&title=PlasmabeschichtungPlasmabeschichtung - Versionsgeschichte2026-06-12T00:46:53ZVersionsgeschichte dieser Seite in Wikipedia (Deutsch) – Lokale KopieMediaWiki 1.43.8https://wiki-de.moshellshocker.dns64.de/index.php?title=Plasmabeschichtung&diff=25432&oldid=previmported>Summ am 12. August 2020 um 12:44 Uhr2020-08-12T12:44:23Z<p></p>
<p><b>Neue Seite</b></p><div>Unter '''Plasmabeschichtung''' bezeichnet man zusammenfassend alle [[Plasma (Physik)|plasmagestützten]] Produktionsverfahren, bei denen Werkstücke aller Art mit [[Dünne Schicht|dünnen Schichten]] aus unterschiedlichen Materialien überzogen werden. Dazu zählen:<ref>Monika Kaßmann: ''Grundlagen der Verpackung.'' Beuth Verlag, 2014, ISBN 978-3-410-24192-8, S.&nbsp;127 ({{Google Buch|BuchID=f-AIAwAAQBAJ|Seite=127}}).</ref><br />
* plasmagestützte [[physikalische Gasphasenabscheidung]]sverfahren (Plasma-PVD), wie das plasmaunterstützte [[Magnetronsputtern]],<br />
* plasmagestützte [[chemische Gasphasenabscheidung]]sverfahren (Plasma-CVD), wie [[PECVD]] oder [[PACVD]],<br />
* [[Plasmawärmebehandlung]],<br />
* [[Plasmapolymerisation]] und<br />
* [[Plasmaätzen|Plasma-]] und [[Ionenstrahlätzen]].<br />
<br />
Eine weitere Klassifizierung kann sowohl über den Aggregatzustandes der Ausgangsmaterialien als auch über die Art der Plasmagenerierung (z.&nbsp;B. induktiv gekoppelten Plasma, [[ICP]]) erfolgen.<br />
<br />
Die abgeschiedenen Schichten finden in vielen Gebieten Einsatz, beispielsweise [[Optik]] (Antireflexionsschichten), Produktveredlung ([[Titannitrid]] als Goldersatz), [[Verschleiß]]schutz, [[Elektronik]], [[Polytetrafluorethylen#Antihaft-Beschichtungen bei Konsumgütern|Antihaftbeschichtung]] oder der [[Verpackungstechnik]] (Siliziumdioxidschichten als Innenbeschichtung von [[PET-Flasche]]n).<br />
<br />
== Einzelnachweise ==<br />
<references/><br />
<br />
[[Kategorie:Beschichtungsverfahren]]<br />
[[Kategorie:Verschleißschutzverfahren]]</div>imported>Summ