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	<title>Nanopositioniersystem - Versionsgeschichte</title>
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	<updated>2026-06-11T22:33:23Z</updated>
	<subtitle>Versionsgeschichte dieser Seite in Wikipedia (Deutsch) – Lokale Kopie</subtitle>
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		<id>https://wiki-de.moshellshocker.dns64.de/index.php?title=Nanopositioniersystem&amp;diff=962265&amp;oldid=prev</id>
		<title>imported&gt;Ute Erb: /* Einleitung */ Komma nach Nebensatz</title>
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		<updated>2021-12-07T10:00:22Z</updated>

		<summary type="html">&lt;p&gt;&lt;span class=&quot;autocomment&quot;&gt;Einleitung: &lt;/span&gt; Komma nach Nebensatz&lt;/p&gt;
&lt;p&gt;&lt;b&gt;Neue Seite&lt;/b&gt;&lt;/p&gt;&lt;div&gt;Ein &amp;#039;&amp;#039;&amp;#039;Nanopositioniersystem&amp;#039;&amp;#039;&amp;#039; ist eine Stellmechanik, die in der Lage ist, Positionen mit Nanometerauflösung oder darunter wiederholt anzufahren. Es besteht in der Regel aus einem Aktor, der die Verschiebung bewerkstelligt, einem Wegmesssystem, das die Ist-Position bestimmt, sowie einer [[Positionsregelung]]selektronik.&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
Als Antriebe eignen sich beispielsweise [[Piezoelektrizität#Aktorik|Piezoaktoren]], [[Blei-Magnesium-Niobat]]-Aktoren, [[Tauchspule]]nantriebe und elektromagnetische [[Linearmotor]]en. Neben dem Antrieb muss auch die [[Linearführung|Führung]] spielfrei und reibungsarm sein. Für längere Stellwege werden [[Luftlager]] verwendet, für kurze Stellwege kleiner ein Millimeter eignen sich auch [[Festkörpergelenk]]e. Als Wegmesssystem werden in der Regel [[Kapazitiver_Sensor#Abstandssensor|kapazitive Sensoren]] eingesetzt.&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== Weblinks ==&lt;br /&gt;
* [http://www.piezosystem.de/nanopositionierung/downloads/technische_informationen/piezo_theorie/ * Nanopositioniersysteme - Theorie &amp;amp; Anwendung]&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
[[Kategorie:Aktorik]]&lt;br /&gt;
[[Kategorie:Lineartechnik]]&lt;/div&gt;</summary>
		<author><name>imported&gt;Ute Erb</name></author>
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