https://wiki-de.moshellshocker.dns64.de/index.php?action=history&feed=atom&title=MikroventilMikroventil - Versionsgeschichte2026-05-31T01:08:18ZVersionsgeschichte dieser Seite in Wikipedia (Deutsch) – Lokale KopieMediaWiki 1.43.8https://wiki-de.moshellshocker.dns64.de/index.php?title=Mikroventil&diff=961207&oldid=previmported>Cepheiden: geprüft2022-10-11T19:56:19Z<p>geprüft</p>
<p><b>Neue Seite</b></p><div>'''Mikroventile''' sind Ventile, deren Dimensionen sich im [[Meter#Mikrometer|Mikrometerbereich]] befinden. Mikroventile sind wichtige Bauteile der [[Mikrofluidik]] und finden auch Verwendung in [[Mikrosystem (Technik)|Mikrosystemen]].<br />
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== Aufbau, Funktion und Anwendung ==<br />
Mikroventile werden meist auf Basis von einkristallinem [[Silicium]] gebaut (meist 4-Zoll- oder 6-Zoll-[[Wafer]], also kleiner als sie in der [[Halbleitertechnologie]] Verwendung finden). In und durch das Substrat werden Kanäle eingebracht, beispielsweise durch [[anisotrop]]es [[Ätzen]] des Siliciums in einer [[Kalilauge]].<!-- Bitte ergänzen--><br />
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Ein typisches Funktionsprinzip ist die Steuerung des Strömungsflusses über einen mikromechanisch beweglichen Stößel, der den Strömungskanal verschließen kann. Die Auslenkung des Stößels kann beispielsweise über eine versteifte Siliciummembran, die den Stößel trägt (kann gleich als ein Bauteil gefertigt werden), und durch eine [[Piezokeramik]] angetrieben werden. Dadurch kann ein Strömungspfad aktiv geöffnet und geschlossen werden.<br />
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Durch die geringen Abmessungen können Mikroventile sehr gut in portable Geräte und kompakte Systeme integriert werden, was ganz neue Anwendungsmöglichkeiten schafft, z.&nbsp;B. Vorsteuerventil für die Industriepneumatik, Schnellablassventil für [[Blutdruckmessung]], Regelventil für miniaturisierte [[Durchflusssensor]]en, Steuerung mikrofluidischer bioanalytischer Systeme<ref>{{Internetquelle |url=https://www.vdi-nachrichten.com/Technik/Ein-starkes-Gedaechtnis |titel=Ein starkes Gedächtnis |datum=2019-05-02 |offline=1 |archiv-url=https://web.archive.org/web/20190503001602/https://www.vdi-nachrichten.com/Technik/Ein-starkes-Gedaechtnis |archiv-datum=2019-05-03 |abruf=2019-06-14}}</ref>.<br />
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== Weblinks ==<br />
* Fraunhofer IZM (Hrsg.): ''[http://www.izm-m.fraunhofer.de/de/index/dieabteilungen3_n400001abteilungen_a/dieabteilungen3_n40055cabteilungen_a//dieabteilungen3_n400582abteilungen_a_2/dieabteilungen3_n40066babteilungen_a_2/dieabteilungen3_n40066babteilungen_a_2.html Mikroventil].'' 2007, abgerufen am 19. Feb. 2009.<br />
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== Einzelnachweise ==<br />
<references /><br />
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[[Kategorie:Mikrosystemtechnik]]<br />
[[Kategorie:Gastechnik]]<br />
[[Kategorie:Fluidtechnik]]</div>imported>Cepheiden