https://wiki-de.moshellshocker.dns64.de/index.php?action=history&feed=atom&title=MikrosystemtechnikMikrosystemtechnik - Versionsgeschichte2026-05-27T00:26:13ZVersionsgeschichte dieser Seite in Wikipedia (Deutsch) – Lokale KopieMediaWiki 1.43.8https://wiki-de.moshellshocker.dns64.de/index.php?title=Mikrosystemtechnik&diff=19765&oldid=previmported>17387349L8764: Art. verb.2025-11-17T18:30:09Z<p>Art. verb.</p>
<p><b>Neue Seite</b></p><div>[[Datei:Microheizung.jpg|mini|Mikroheizung]]<br />
Die '''Mikrosystemtechnik''' (MST, {{enS|''micro systems technology''}}), selten auch ''Mikrosystemtechnologie'', ist ein Teilbereich der '''[[Mikrotechnik]]''' und beschäftigt sich mit der Lehre, [[Forschung und Entwicklung|Forschung & Entwicklung]] sowie Herstellung von [[Mikrosystem (Technik)|Mikrosystemen]].<ref>{{Literatur |Autor=Jan G. Korvink, Oliver Paul |Titel=MEMS: A Practical Guide to Design, Analysis, and Applications |Verlag=Springer Berlin Heidelberg |Ort=Berlin, Heidelberg |Datum=2006 |ISBN=3-540-21117-9 |Sprache=en |DOI=10.1007/978-3-540-33655-6}}</ref> Dabei werden beispielsweise [[Mikromechanik|mikromechanische]] oder [[Mikrooptik|mikrooptische]] Bauelemente mit [[Mikroelektronik|mikroelektronischen]] Schaltungen in einem komplexen System kombiniert und integriert.<br />
<br />
Ein weiteres Teilgebiet ist die [[Mikroverfahrenstechnik]], die sich mit physikalischen und/oder chemischen Prozessen beschäftigt, die in mikrostrukturierten Apparaten ablaufen.<br />
<br />
Man bezeichnet ein durch die Mikrosystem- oder Mikrotechnik hergestelltes Bauteil oder Gerät auch als [[Mikrosystem (Technik)|Mikrosystem]] bzw. mikro-elektromechanisches System (MEMS).<br />
<br />
== Verfahren ==<br />
In Mikrosystemen wirken [[Sensor]]en, [[Aktor]]en und Datenverarbeitung zusammen.<ref>{{Literatur |Autor= |Titel=Semiconductor Sensors |Hrsg=[[Simon M. Sze]] |Verlag=Wiley |Ort=New York |Datum=1994 |Sprache=en |ISBN=0-471-54609-7}}</ref> Für die Herstellung komplexer Mikrosysteme werden daher Verfahren und Methoden aus unterschiedlichen Mikrotechniken kombiniert. Dazu zählen die [[Mikromechanik]], die [[Mikrofluidik]], die [[Bioelektronik]], die [[Mikrooptik]] (Sensoren, Aktoren) sowie die [[Mikroelektronik]] (Datenverarbeitung, elektronische Schnittstellen) selbst. Die Integration zu einem System erfolgt sowohl aus diskrete Komponenten (siehe [[Aufbau- und Verbindungstechnik]]), als auch monolithisch in [[Halbleiter]]materialien wie kristallinem [[Silizium]] oder [[Gallium-Arsenid]] (siehe [[Dünnschichttechnik]]). Die genutzten Verfahren zur Herstellung sind dabei sehr vielfältig, neben typischen Dünnschichttechniken werden auch Abformtechniken (wie [[LIGA (Fertigungsverfahren)|LIGA]]), Ätztechniken usw. genutzt. Dabei nutzt die MST nahezu jede Art von Werkstoffen wie Metalle, Halbleiter, Keramiken, [[Sol-Gel]]-Materialien, Kunststoffe und viele mehr.<br />
<br />
== Studium ==<br />
Die Mikrosystemtechnik und die Mikrotechnik werden grundsätzlich von Wissenschaftlern und Ingenieuren praktiziert. Es gibt jedoch auch die Ausbildung zum [[Mikrotechnologe|Mikrotechnologen]].<br />
<br />
Mikrosystemtechnik kann an verschiedenen Hochschulen, Universitäten oder Forschungseinrichtungen studiert werden.<ref>{{Internetquelle |url=https://www.studis-online.de/studium/mikrosystemtechnik/ |titel=Mikrosystemtechnik - 52 Studiengänge |sprache=de |abruf=2022-12-27}}</ref> Grundlagen in Physik gelten generell als Grundvoraussetzung. Ähnliche Studiengänge heißen z. B. Nanotechnologie, NanoEngineering usw.<br />
<br />
== Preise & Auszeichnungen ==<br />
{{Siehe auch|Mikroelektronik|Ingenieur}}<br />
Die IEEE [[Electron Devices Society]] (EDS) verleiht u. a. den ''Robert Bosch Micro and Nano Electro Mechanical Systems Award'' für ausgezeichnete Arbeiten zu [[Mikrosystem (Technik)|MEMS]].<br />
<br />
== Anwendungsbereiche ==<br />
{{Siehe auch|Mikrosystem (Technik)}}<br />
Typische Anwendungen sind Sensoren und Aktoren in einer Vielzahl von Bereichen wie der [[Automobilindustrie]]<ref>{{Internetquelle |autor=Jessica Mouchegh |url=https://www.all-electronics.de/elektronik-entwicklung/mehr-chips-bosch-erweitert-halbleiterfertigung-in-reutlingen-183.html |titel=Mehr Chips: Bosch erweitert Halbleiterfertigung in Reutlingen |werk=[[all-electronics]] |hrsg=[[Hüthig GmbH]] |datum=2022-02-23 |sprache=de |abruf=2022-12-15}}</ref>, [[Elektrotechnik]], [[Informationstechnik]], [[Verkehrstechnik]], [[Hochfrequenztechnik]]<ref>{{Literatur |Autor=Shiban Kishen Koul, Sukomal Dey |Titel=Micromachined Circuits and Devices: Microwave to Sub-millimeter Applications |Reihe=Lecture Notes in Electrical Engineering |BandReihe=859 |Verlag=Springer Singapore |Ort=Singapur |Datum=2022 |ISBN=978-981-16-9442-4 |Sprache=en |DOI=10.1007/978-981-16-9443-1}}</ref><ref>{{Literatur |Autor=Inder J. Bahl, P. Bhartia |Titel=Microwave Solid State Circuit Design |Auflage=2. |Verlag=Wiley-Interscience |Ort=New York |Datum=2003 |ISBN=0-471-20755-1}}</ref> und [[Medizintechnik]].<ref>{{Literatur |Titel=MEMS: A Practical Guide to Design, Analysis, and Applications |Verlag=Springer Berlin Heidelberg |Ort=Berlin / Heidelberg |Datum=2006 |ISBN=3-540-21117-9 |Sprache=en |DOI=10.1007/978-3-540-33655-6}}</ref> <br />
<br />
== Wirtschaft & Hersteller ==<br />
{{Siehe auch|Mikrosystem (Technik)}}<br />
<br />
== Verbände & Organisationen ==<br />
<br />
* [[Forschungsfabrik Mikroelektronik Deutschland|Forschungsfabrik Mikroelektronik]] (FMD)<br />
** ''Fraunhofer-Verbund Mikroelektronik in Kooperation mit den Leibniz-Instituten FBH und IHP''<br />
* IEEE [[Electron Devices Society]] (EDS)<br />
* [[Semiconductor Equipment and Materials International|SEMI]] [https://www.semi.org/en/communities/msig MEMS & Sensors Industry Group]<br />
* [[Semiconductor Industry Association]] (SIA), USA<br />
* [[Verein Deutscher Ingenieure|VDI]]/[[Verband der Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik|VDE]] Gesellschaft [https://www.vdi.de/tg-fachgesellschaften/vdi-mikroelektronik-mikrosystem-und-feinwertechnik Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik] (GMM)<br />
** VDE MikroSystemTechnik Kongress<ref>{{Internetquelle |url=https://www.mikrosystemtechnik-kongress.de/mstk-2023 |titel=Startseite MikrosyStemTechnik Kongress |hrsg=[[Verband der Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik|VDE]] Verband der Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik e.&nbsp;V. |sprache=de |abruf=2022-12-05}}</ref><br />
* [[Verband der Elektro- und Digitalindustrie|ZVEI]] Fachverband [https://www.zvei.org/verband/fachverbaende/fachverband-electronic-components-and-systems Electronic Components and Systems]<br />
<br />
== Literatur ==<br />
<br />
=== Fachartikel ===<br />
<br />
* {{Literatur |Autor=Haoran Wang, Yifei Ma, Qincheng Zheng, Ke Cao, Yao Lu, Huikai Xie |Titel=Review of Recent Development of MEMS Speakers |Sammelwerk=Micromachines |Band=12 |Nummer=10 |Datum=2021-10-16 |Sprache=en |DOI=10.3390/mi12101257 |Seiten=1257}}<br />
<br />
=== Fachjournale ===<br />
<br />
* Journal of Microelectromechanical Systems (JMEMS),<ref>{{Internetquelle |url=https://eds.ieee.org/publications/journal-of-microelectromechanical-systems |titel=Journal of Microelectromechanical Systems - IEEE Electron Devices Society |sprache=en-gb |abruf=2022-12-06}}</ref> angeboten von [[Institute of Electrical and Electronics Engineers|IEEE]] [[Electron Devices Society]]<br />
* [https://www.springer.com/journal/542 Microsystem Technologies] ({{ISSN|1432-1858}}), Springer<br />
* [https://www.mdpi.com/journal/micromachines Micromachines] {{ISSN|2072-666X}} ([[MDPI]])<br />
<br />
=== Lehrbücher ===<br />
* {{Literatur |Autor=Stephanus Büttgenbach |Titel=Mikrosystemtechnik |Verlag=Springer Berlin Heidelberg |Ort=Berlin, Heidelberg |Jahr=2016 |Reihe=Technik im Fokus |ISBN=978-3-662-49772-2 |DOI=10.1007/978-3-662-49773-9}}<br />
* {{Literatur<br />
|Autor=Markus Glück<br />
|Titel=MEMS in der Mikrosystemtechnik<br />
|Verlag=Vieweg+Teubner Verlag<br />
|Ort=Wiesbaden<br />
|Datum=2005<br />
|ISBN=3-519-00520-4<br />
|DOI=10.1007/978-3-663-10778-1}}<br />
* {{Literatur<br />
|Autor=Manfred Kasper<br />
|Titel=Mikrosystementwurf<br />
|Verlag=Springer Berlin Heidelberg<br />
|Ort=Berlin / Heidelberg<br />
|Datum=2000<br />
|ISBN=3-540-66497-1<br />
|DOI=10.1007/978-3-642-57123-7}}<br />
* {{Literatur<br />
|Autor=Wolfgang Menz, Jürgen Mohr, Oliver Paul<br />
|Titel=Mikrosystemtechnik für Ingenieure<br />
|Auflage=Dritte, vollständig überarbeitete und erweiterte Auflage<br />
|Verlag=Wiley-VCH<br />
|Ort=Weinheim<br />
|Datum=2005<br />
|ISBN=3-527-30536-X}}<br />
* {{Literatur |Autor=Friedemann Völklein, Thomas Zetterer |Titel=Praxiswissen Mikrosystemtechnik |Verlag=Vieweg+Teubner (Springer) |Ort=Wiesbaden |Jahr=2006 |Reihe=Vieweg Praxiswissen |ISBN=978-3-528-13891-2 |DOI=10.1007/978-3-8348-9105-1}}<br />
<br />
=== Weiterführende Literatur ===<br />
* {{Literatur<br />
|Autor=Stephanus Büttgenbach, Iordania Constantinou, Andreas Dietzel, Monika Leester-Schädel<br />
|Titel=Case Studies in Micromechatronics: From Systems to Processes<br />
|Verlag=Springer Berlin Heidelberg<br />
|Ort=Berlin / Heidelberg<br />
|Datum=2020<br />
|ISBN=978-3-662-61319-1<br />
|Sprache=en<br />
|DOI=10.1007/978-3-662-61320-7}}<br />
* {{Literatur<br />
|Hrsg=Dan Zhang<br />
|Titel=Advanced Mechatronics and MEMS Devices<br />
|Reihe=Microsystems<br />
|BandReihe=23<br />
|Verlag=Springer New York<br />
|Ort=New York, NY<br />
|Datum=2013<br />
|ISBN=978-1-4419-9984-9<br />
|Sprache=en<br />
|DOI=10.1007/978-1-4419-9985-6}}<br />
* {{Literatur<br />
|Autor=Shiban Kishen Koul, Sukomal Dey<br />
|Titel=Micromachined Circuits and Devices: Microwave to Sub-millimeter Applications<br />
|Reihe=Lecture Notes in Electrical Engineering<br />
|BandReihe=859<br />
|Verlag=Springer Singapore<br />
|Ort=Singapur<br />
|Datum=2022<br />
|ISBN=978-981-16-9442-4<br />
|Sprache=en<br />
|DOI=10.1007/978-981-16-9443-1}}<br />
* {{Literatur<br />
|Autor=Yogesh B. Gianchandani, Osamu Tabata, Hans P. Zappe<br />
|Titel=Comprehensive microsystems<br />
|Ort=Amsterdam/Paris<br />
|Verlag=Elsevier <br />
|Datum=2008<br />
|ISBN=978-0-444-52190-3<br />
|Seiten=}}<br />
* Monografien aus der Springer Serie '''[https://www.springer.com/series/11483 Microsystems and Nanosystems]'''<br />
<br />
== Weblinks ==<br />
{{Commonscat|Microtechnology|Mikrotechnologie}}<br />
<br />
== Einzelnachweise ==<br />
<references /><br />
<br />
{{Normdaten|TYP=s|GND=4221617-5}}<br />
<br />
[[Kategorie:Technisches Fachgebiet]]<br />
[[Kategorie:Mikrosystemtechnik| ]]<br />
[[Kategorie:Mechatronik]]<br />
[[Kategorie:Mikrotechnik]]<br />
[[Kategorie:Halbleitertechnik]]<br />
[[Kategorie:Mikroelektronik]]<br />
[[Kategorie:Ingenieurwissenschaftliches Fachgebiet]]</div>imported>17387349L8764