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{{Infobox Unternehmen
| Name = Lam Research Corporation
| Logo = Lam-Research-Logo.svg
| Unternehmensform = [[Corporation (Vereinigte Staaten)|Corporation]]
| ISIN = US5128071082
| Gründungsdatum = 1980
| Auflösungsdatum =
| Auflösungsgrund =
| Sitz = [[Fremont (Kalifornien)|Fremont]], [[Kalifornien]], [[Vereinigte Staaten|USA]]
| Leitung = Tim Archer (Präsident und [[CEO]])<ref>[http://www.lamresearch.com/company/company-overview/executive-biographies/martin-anstice Profil] auf lamresearch.com</ref>
| Mitarbeiterzahl = 17.700 <small>(2022)</small><ref name=ar2022>[https://www.finanzen.net/bilanz_guv/lam_research https://www.finanzen.net/bilanz_guv/lam_research]</ref>
| Umsatz = 17,18 Mrd. [[US-Dollar]]<ref name=ar2022 />
| Stand = 2022-12-31
| Branche = Anlagen für die Halbleiterindustrie
| Homepage = www.lamresearch.com
}}
[[Datei:Gebäude von Lam Research in Fremont.jpg|mini|Lam Research in Fremont, 2023]]
'''Lam Research Corporation''' ist einer der führenden Hersteller und Anbieter von verfahrenstechnischen Geräten und Anlagen für die [[Halbleiter]]industrie.
Das 1980 gegründete und im kalifornischen [[Fremont (Kalifornien)|Fremont]] ansässige Unternehmen stellt vor allem Anlagen für das [[Trockenätzen]] unterschiedlicher Materialien her. Damit steht Lam Research in Wettbewerb mit anderen Ausrüstern der Halbleiterindustrie wie [[Applied Materials]], [[Tokyo Electron]] und [[Dainippon Screen Manufacturing]].

Lam Research ist der zweitgrößte Arbeitgeber im [[Verarbeitendes Gewerbe|verarbeitenden Gewerbe]] in der [[San Francisco Bay Area]], nach [[Tesla, Inc.|Tesla]] (Stand 2018)<ref>{{cite web |url= https://www.bizjournals.com/sanfrancisco/subscriber-only/2018/08/10/largest-manufacturers-in-the-greater.html |title=Largest Manufacturers in the Greater Bay Area |language=en}}</ref>. Weitere Fertigungseinrichtungen befinden sich im US-Bundesstaat [[Oregon]], [[Österreich]], [[Korea]], [[Malaysia]] und [[Republik China (Taiwan)|Taiwan]].<ref>{{cite web |url= https://www.lamresearch.com/company/locations/ |title=Lam Research Webseite |language=en}}</ref> Die Firma ist an der US-amerikanischen Börse [[Nasdaq]] notiert (Ticker: LRCX).

== Firmengeschichte ==
Die Lam Research Corporation wurde 1980 von [[David K. Lam]] in Fremont, Kalifornien, gegründet. Lam Research konnte seine Produkte, zunächst eigentlich nur der ''AutoEtch 480'', relativ schnell am Markt platzieren und gewann neben dem neugegründeten Unternehmen „Trilogy“ auch namhafte Firmen wie [[Intel]], [[AMD]] und [[National Semiconductor]] als Kunden.<ref>{{cite web |url=http://www.semi.org/en/About/P034568 |title=Oral History: David K. Lam | SEMI.ORG |work=semi.org |year=2011 |accessdate=2011-08-09 |language=en |archiveurl=https://web.archive.org/web/20110929155105/http://www.semi.org/en/About/P034568 |archivedate=2011-09-29 |offline=0 |archivebot=2026-02-18 00:32:22 InternetArchiveBot }}</ref><ref>{{Internetquelle | titel = David Lam | url = http://silicongenesis.stanford.edu/transcripts/SEMI/lam.htm | zugriff = 2012-04-17 | datum = | archiv-datum = 2013-11-11 | archiv-url = https://web.archive.org/web/20131111154451/http://silicongenesis.stanford.edu/transcripts/SEMI/lam.htm | offline = ja | archiv-bot = 2026-02-18 00:32:22 InternetArchiveBot }}</ref>
Im Jahr 1984, vier Jahre nach der Gründung, folgte der Börsengang an die Nasdaq. Ab 1985 begann man mit dem Aufbau der globalen Präsenz und gründete Niederlassungen in [[Asien]] (v. a. [[Japan]]) und [[Europa]]. Es folgten Niederlassungen in [[Südkorea]] (1989) und [[China]] (1990) sowie ein Entwicklungszentrum in Japan (1993).

Seit der Gründung sind Ätzanlagen für die Halbleiterindustrie das Kerngeschäft des Unternehmens. Ein Jahr nach der Gründung (1981) wurde ein erstes Produkt, genannt ''AutoEtch 480'' vorgestellt, welches unter anderem für das Trockenätzen von [[Polysilicium]]-Schichten entwickelt wurde.

1985 folgte die Ätzanlage ''AutoEtch 590''<ref>{{Internetquelle | titel = AutoEtch 590 Oxide Etcher | url = http://www.chiphistory.org/equipment_landmarks/1985-90/interesting_products/lam_autoetch_1985/lam_autoetch.htm | zugriff = 2012-04-17| datum = | kommentar = Produktbeschreibung}}</ref> für die Bearbeitung von [[Siliciumdioxid]]-Schichten und 1987 wurde der Nachfolger der AutoEtch-Serie die Rainbow-Serie eingeführt. Der Erfolg dieser Serien setzte sich mit der Einführung der patentgeschützten Transformer-Coupled-[[Plasma (Physik)|Plasma]]-Technik (TCP-Technik) in den 1990er Jahren fort. Die TCP-Technik wurde unter anderem in den Anlagen ''TCP 9400'' (Siliciumätzen, 1992) und ''TCP 9600'' (Metallätzen) eingesetzt.
2012 waren die Serien ''2300 Kiyo'', ''2300 Flex'' und ''2300 Versys'' für das vollautomatische Ätzen von [[Dielektrikum|dielektrischen]], leitfähigen bzw. metallischen Schichten auf 300-mm-[[Wafer]]n aktuell.
Darüber hinaus entwickelt und fertigt Lam Research auch Anlagen für das Ätzen von Löchern bei der [[Siliziumdurchkontaktierung]] ({{lang|en|through-silicon via}}, TSV), wie die Einzelwaferanlage ''TCP 9400DSiE'' – TSV sind eine Technik, die bei [[3D-Integration|3D-integrierten IC]] benötigt wird.

Neben den Ätzanlagen versuchte Lam Research seit Mitte/Ende der 1980er Jahre auch andere Fertigungsanlagen, wie Reinigungs- und [[CVD-Beschichtung]]sanlagen, auf dem Markt zu platzieren.
So entwickelte die Firma 1988 einen Nassreinigungsprozess für Einzelwafer, der aber erst 1991 als kommerzielles Produkt zur Verfügung stand, die SP-Serie. Nachfolger dieser Serie sind die Vinci- und die DV-Prime-Serie (Einführung 2003 bzw. 2007) sowie Plasma-basierte Reinigungsanlagen wie die 2300 Coronus.<ref>{{Internetquelle | hrsg = Lam Research | titel = Lam Research at a Glance | url = http://www.lamrc.com/downloads/Lam_Research_at_a_Glance.pdf | zugriff = 2012-04-17 | datum = 2012 | format = PDF; 550 kB | archiv-url = https://web.archive.org/web/20120315020633/http://www.lamrc.com/downloads/Lam_Research_at_a_Glance.pdf | archiv-datum = 2012-03-15 | offline = ja | archiv-bot = 2019-04-24 19:09:29 InternetArchiveBot }}</ref>

2008 wurde die Schweizer [[SEZ Holding]] übernommen.

2015 wurde die Übernahme des Konkurrenten [[KLA Corporation|KLA-Tencor]] angekündigt.<ref>{{Internetquelle|url=http://www.golem.de/news/lithographie-kla-tencor-und-lam-research-fusionieren-zu-groesstem-ausruester-1510-117108.html|autor=Marc Sauter|titel=Lithographie: KLA-Tencor und Lam Research fusionieren zu größtem Ausrüster|werk=[[Golem.de]]|datum=2015-10-26|abruf=2016-05-10}}</ref> Wegen wettbewerbsrechtlicher Bedenken des [[United States Department of Justice]] hat Lam Research das Angebot ein Jahr später zurückgezogen.<ref>{{Internetquelle |url=https://www.reuters.com/article/us-kla-tencor-m-a-lam-research/chip-equipment-maker-lam-research-calls-off-kla-tencor-deal-idUSKCN1252OL |titel=Chip equipment maker Lam Research calls off KLA-Tencor deal |titelerg= |werk= |hrsg=[[Reuters]] |datum=2016-10-06 |abruf=2018-01-09 |sprache=EN }}</ref>

Im September 2017 gab das Unternehmen die Übernahme des in [[Cary (North Carolina)|Cary]], [[North Carolina]], ansässigen Simulationssoftwareunternehmens ''Coventor'' bekannt. Die Software des Unternehmens soll es Lam Berichten zufolge ermöglichen, die Markteinführungszeit für die Chips seiner Kunden zu verkürzen.<ref>{{Internetquelle |autor=ASPENCORE Asia |url=https://www.eetasia.com/lam_software/ |titel=Lam Buys Simulation Software Firm Coventor |werk=EE Times Asia |datum=2017-09-06 |sprache=en |abruf=2026-04-09}}</ref> Im November gründete Lam Research schließlich eine eigene Risikokapitalabteilung für Investitionen in Jungunternehmen.<ref>{{Internetquelle |autor=Mark LaPedus |url=https://semiengineering.com/the-week-in-review-manufacturing-181/ |titel=The Week In Review: Manufacturing |werk=Semiconductor Engineering |datum=2017-11-17 |sprache=en-US |abruf=2026-04-09}}</ref>

Im August 2021 eröffnete Lam eine Produktionsstätte in [[Batu Kawan]], Malaysia, um der steigenden Nachfrage nach Anlagen zur Waferherstellung gerecht zu werden und enger mit wichtigen Kunden und Partnern in der Lieferkette zusammenzuarbeiten. Die Fabrik ist die größte des Unternehmens.<ref>[https://amcham.com.my/lam-research-strengthens-global-manufacturing-network-with-largest-manufacturing-facility-in-malaysia/ Lam Research strengthens global manufacturing network with largest manufacturing facility in Malaysia]</ref> Im folgenden Jahr wurde zudem das ''India Center for Engineering'' in [[Bengaluru]] eröffnet, Lams zweites Forschungszentrum in Indien.<ref>{{Internetquelle |autor=Abhijit Ahaskar |url=https://www.livemint.com/technology/tech-news/us-chip-equipment-maker-lam-research-to-open-its-2nd-r-d-centre-in-india-in-sep-11660589286753.html |titel=US chip equipment maker Lam Research to open its 2nd R&D centre in India in Sep |datum=2022-08-16 |sprache=en |abruf=2026-04-09}}</ref>

Im November 2022 wurde bekannt gegeben, dass Lam den in [[Salzburg]] ansässigen Anbieter von Halbleiterausrüstung für die Nassbearbeitung, die Semsysco GmbH, übernommen hatte.<ref>{{Internetquelle |autor=Evertiq |url=https://evertiq.com/design/52828 |titel=Lam Research acquires SEMSYSCO |datum=2022 |sprache=en |abruf=2026-04-09}}</ref> Im selben Monat übernahm Lam zudem das in Texas ansässige Unternehmen für Plasmasimulation, Esgee Technologies, Inc.<ref>{{Literatur |Titel=Reynolds Advisory Partners Acts as Exclusive Financial Advisor to Esgee Technologies on Its Sale to Lam Research |Online=https://www.businesswire.com/news/home/20230123005713/en/Reynolds-Advisory-Partners-Acts-as-Exclusive-Financial-Advisor-to-Esgee-Technologies-on-Its-Sale-to-Lam-Research |Abruf=2026-04-09}}</ref>

== Siehe auch ==

* [[PHLX Semiconductor Sector]]

== Weblinks ==
{{Commonscat}}
* [https://www.lamresearch.com/de/ Website Lam Research DE]

== Einzelnachweise ==
<references />

{{Navigationsleiste NASDAQ-100}}

[[Kategorie:Anlagenbauunternehmen für die Halbleiterindustrie]]
[[Kategorie:Unternehmen (Fremont, Kalifornien)]]
[[Kategorie:Unternehmensgründung 1980]]
[[Kategorie:Unternehmen im S&P 500]]

Lam Research - Versionsgeschichte

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