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2025-09-25T14:26:56Z

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Eine '''Horde''' ({{EnS|carrier}}) bezeichnet in der [[Halbleitertechnik]] eine Halterung für mehrere Halbleiterscheiben (engl. {{lang|en|[[wafer]]}}).
Als Material dient in der Regel [[Kunststoff]] (beispielsweise in den Transportboxen), es werden aber auch andere Materialien eingesetzt, so bestehen die Horden in [[Oxidationsofen|Oxidationsöfen]] aus [[Quarzglas]].

[[File:Front opening shipping box (front side).jpg|thumb|Sicht auf die Vorderseite einer FOSB-Kassette mit acht Wafern]]
Eine in Transportboxen (beispielsweise FOSB-Kassetten, {{enS|front open shipping box}}) eingesetzte Horde bietet in der Regel Platz für 25 Wafer (seltener auch 13 Wafer).
Im industriellen Umfeld werden hier sogenannte FOUP-Kassetten (engl. {{lang|en|front opening unified pod}}, dt. „nach vorn öffnender Einheitsbehälter“) eingesetzt.
In Prozessanlagen können Horden auch mehr oder weniger als 25 Wafer aufnehmen.

Maschinen, die die Wafer nach einem Bearbeitungs- oder Fertigungsschritt einzeln nacheinander oder gemeinsam miteinander in der Horde ablegen, werden als ''Einhorder'' bezeichnet.
Entsprechend heißen Maschinen, die Wafer aus einer Horde in eine andere umpacken, ''Umhorder''.

== Literatur ==
* {{Literatur|Autor=[[Ulrich Hilleringmann]]|Titel=Silizium-Halbleitertechnologie|Verlag=Vieweg+Teubner Verlag|ISBN=9783835102453|Jahr=2008}}

[[Kategorie:Halbleitertechnik]]

Horde (Halbleitertechnik) - Versionsgeschichte

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