imported>Andreas Ley: /* Elektronenröhren */ Satzbau

2023-11-04T23:21:38Z

Elektronenröhren: Satzbau

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{{Dieser Artikel|beschäftigt sich mit dem chemisch reaktiven Material. Für die Abfragemethode in der Programmierung siehe [[Zugriffsfunktion]].}}

Ein '''Getter''', auch '''Fangstoff''', ist ein [[Chemie|chemisch]] [[Reaktivität (Chemie)|reaktives]] Material, das dazu dient, ein [[Vakuum]] möglichst lange zu erhalten. An der Oberfläche eines Getters gehen [[Molekül|Gasmoleküle]] mit den [[Atom]]en des Gettermaterials eine direkte [[chemische Verbindung]] ein, oder die Gasmoleküle werden durch [[Sorption]] festgehalten. Auf diese Weise werden Gasmoleküle „eingefangen“.<ref name="Lexikon">''Lexikon der Chemie in drei Bänden: Band 2 Gest bis Pere.'' Spektrum Akademischer Verlag, Heidelberg/Berlin 1999, ISBN 3-8274-0380-4, S. 1.</ref>

In den Getterpumpen ([[Ionengetterpumpe]]) der [[Vakuumtechnik]] wird meist [[Titan (Element)|Titan]] ([[Titan-Sublimationspumpe]]) verwendet. [[Platin]] eignet sich ebenfalls.

== Anwendungsbereiche ==
=== Elektronenröhren ===
[[Datei:getterringmtext.jpg|mini|Getterring und Getter in einer Elektronenröhre]]
Man verwendet dieses Prinzip vor allem, um verbleibende Gase in [[Elektronenröhre]]n (einschließlich [[Bildröhre]]n) oder [[Vakuumpumpe]]n zu binden. Zur Funktionsfähigkeit von Elektronenröhren ist es erforderlich, dass in ihrem Inneren ein möglichst gutes Vakuum (Hochvakuum) herrscht. Dazu setzt man ''Getter'' ein, die nach dem Auspumpen die verbliebenen Gasmoleküle an sich binden.
Zur Aktivierung wird das Gettermaterial erhitzt; die entstehenden reaktiven Dämpfe binden die Restgase durch [[Adsorption]] oder chemische Bindung. Darüber hinaus können die an den freien Oberflächen niedergeschlagenen Dämpfe auch später eintreffendes Restgas binden, bis ihre [[Adsorptionskapazität]] erschöpft ist.

Bei Elektronenröhren werden häufig [[Barium]]-, [[Aluminium]]- oder [[Magnesium]]legierungen verwendet. Man bringt das Gettermetall in Form einer auf ein Blech montierten Pille oder eines Ringes zusammen mit dem Elektrodensystem in die Röhre und erhitzt diese nach dem Abpumpen und Abschmelzen des Glaskolbens [[Induktive Erwärmung|induktiv]], um das Gettermetall zu verdampfen.

=== Halbleiterfertigung ===
In der Halbleiterfertigung ist weiterhin die sogenannte ''Defektgetterung'' bekannt. Dabei wird ausgenutzt, dass sich Verunreinigungen in Kristallen vorzugsweise an Störzonen des Kristallaufbaues anlagern. Die Rückseite eines [[Wafer]]s wird gezielt mit Kristallfehlern versehen (aufgeraut), so dass bei einer nachfolgenden [[Tempern|Temperung]] Verunreinigungen zu diesen Störstellen diffundieren. Eine andere Möglichkeit, Getterzentren zu erzeugen, ist eine gezielte Einbringung von Fremdstoffen (z. B. [[Bor]], [[Phosphor]], [[Argon]]) auf der Rückseite. Die für die Herstellung der Schaltungsstrukturen verwendete Vorderseite des Wafers wird dadurch reiner.

=== Lebensmittelproduktion ===
Bei Dampfleitungen der [[Pharmaunternehmen|Pharma-]] und [[Lebensmittelindustrie|Lebensmittelbranche]] wird aus Hygienegründen häufig eine Vakuumisolierung mit [[Barium]]-Tubegettern eingesetzt. Bariumgetter eignen sich aufgrund ihres geringen Gleichgewichtsdruckes bei [[Wasserstoff]]<ref>Max Wutz (Begründer), Karl Jousten (Hrsg.): ''Wutz Handbuch Vakuumtechnik. Theorie und Praxis.'' 9., überarbeitete und erweiterte Auflage. Vieweg, Wiesbaden 2006, ISBN 3-8348-0133-X, S. 366–367.</ref> auch für Vakuumisolierungen bei höheren Temperaturen (z. B. Rohranlagen in der Petro- oder Chemieindustrie).

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PL504 broken getter.jpg|Oxidiertes Getter in einer Elektronenröhre durch Glasbruch
Getterring osziroehre.jpg|Getterring eines Elektronenstrahlsystems
Tubegetter ATG12 80.jpg|Tubegetter mit Barium
Getter inside the outer bulb of a sodium vapour lamp.png|Zr-Fe-Getter im Außenkolben einer Natriumdampflampe
</gallery>

== Literatur ==
* {{Literatur
|Autor=Werner Espe, Max Knoll, Marshall P. Wilder
|Titel=Getter Materials for Electron Tubes
|Sammelwerk=Electronics
|Band=23
|Nummer=4
|Datum=1950-10
|ISSN=0013-5070
|Seiten=80–86
|Sprache=en
|Online=http://www.tubebooks.org/file_downloads/Getter_Material.pdf
|Format=PDF
|KBytes=}}

== Weblinks ==
* {{YouTube |id=TavMsLf50Tc |titel=Induction Getter Flash |abruf=2021-06-22}}

== Einzelnachweise ==
<references />

[[Kategorie:Funktionswerkstoff]]
[[Kategorie:Vakuumtechnik]]
[[Kategorie:Halbleitertechnik]]
[[Kategorie:Röhrentechnik]]

Getter - Versionsgeschichte

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