imported>Gunnar.Kaestle: /* Laser */ Wikilink präzisiert: Zerfallzeit ist ein Größe beim exponentielles Wachstum mit negativem Wachstumsparameter; die rote Farbe zieht Aufmerksamkeit von existierenden Artikeln auf (noch) nicht existierend Artikel = Nullinformation

2026-01-27T14:22:55Z

Laser: Wikilink präzisiert: Zerfallzeit ist ein Größe beim exponentielles Wachstum mit negativem Wachstumsparameter; die rote Farbe zieht Aufmerksamkeit von existierenden Artikeln auf (noch) nicht existierend Artikel = Nullinformation

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Die Bezeichnung '''Excimer''' ist ein [[Akronym]] aus der Kurzform von „''exci''ted di''mer''“ (‚angeregtes [[Dimer]]‘). Es handelt sich dabei um ein kurzlebiges [[Teilchen]], das aus zwei oder mehr zusammenhängenden [[Atom]]en oder [[Molekül]]en besteht. Die Besonderheit besteht darin, dass das Excimer nur gebildet werden kann, wenn ein Bindungspartner sich in einem [[Angeregter Zustand|angeregten Zustand]] befindet. Verliert dieses Teilchen [[Energie]], so trennen sich die Bindungspartner und kehren in den [[Grundzustand]] zurück. Dabei wird häufig [[Licht]] [[Spontane Emission|emittiert]]. Die [[Emissionsbande]] ist breit und stärker [[Rotverschiebung|rotverschoben]] als die Emissionsbande des angeregten [[Monomer]]s. Diese Eigenschaft kann [[UV/VIS-Spektroskopie|spektroskopisch]] zur Identifizierung von Excimeren eingesetzt werden.

Definitionsgemäß besteht ein Excimer-Molekül aus zwei oder mehreren Atomen des ''gleichen'' [[Chemisches Element|chemischen Elements]]. Handelt es sich um Atome ''verschiedener'' Elemente, so spricht man von einem [[Exciplex]]. In der Literatur wird diesem Umstand jedoch selten Rechnung getragen und somit werden Exciplexe häufig fälschlich als Excimere bezeichnet.

== Anwendung ==
=== Lampen ===
[[Datei:IOT Excirad172.JPG|mini|hochkant|172-nm-Xenon-Excirad-Strahler (Lampe) aus der [[Druckindustrie]]]]
In Excimerlampen wird die spontane Emission von Excimeren zur Erzeugung von monochromatischem [[UV-Licht]] genutzt. Excimerlampen erzeugen ohne Erwärmung und ohne den Einsatz problematischer Substanzen wie [[Quecksilber]] UV-Licht mit hoher Leistungsdichte. Die Anwendung dieser Lampen sind unter anderem Belichtungen im Bereich der Druckindustrie, zur Oberflächenreinigung z. B. von Glasoberflächen und zur Aushärtungen von speziellen Kunststoffen.<ref name="reso1"/>

=== Laser ===
In [[Excimerlaser]]n werden die stimulierte Emission von Excimeren (bzw. heute meist Exciplexen) zur Erzeugung von [[Kohärenz (Physik)|kohärentem]] Licht (Laser) im UV-Bereich genutzt: die für die [[Laser]]technik notwendige [[Besetzungsinversion]] ist bereits durch die Molekülbildung gegeben, da hierbei der Grundzustand nicht besetzt sein darf. Die [[Exponentielles Wachstum|Zerfallszeit]] beträgt meist wenige [[Nanosekunde]]n.

Praktische Bedeutung haben Excimerlaser, die im [[ultraviolett]]en Spektralbereich emittieren, in der [[Medizintechnik]] und in der [[Fotolithografie (Halbleitertechnik)|Fotolithografie]] (einem Bereich der [[Halbleiter]]herstellung) erlangt. Das [[Laseraktives Medium|laseraktive Medium]] besteht hierbei überwiegend aus folgenden Excimeren (Fluor) bzw. Exciplexen:
* [[Argonfluorid]] (ArF) mit einer emittierten [[Wellenlänge]] von 193 nm
* Kryptonmonofluorid (KrF) 248 nm
* Xenonchlorid (XeCl) 308 nm oder
* Xenonfluorid (XeF) 351 nm.

Es lassen sich auch kürzere Wellenlängen erzeugen:<ref>https://www.osti.gov/etdeweb/servlets/purl/20266007</ref>
* [[Xenon]] (Xe2) 172 nm
* [[Fluor]] (F2) 157 nm
* [[Krypton]] (Kr2) 147 nm
* [[Argon]] (Ar2) 126 nm

== Literatur ==
* {{Gold Book|excimer|E02242|Version=2.3.3|lang=ja}}

== Einzelnachweise ==
<references>
<ref name="reso1">{{Internetquelle | url = https://www.resonance.on.ca/excimer.htm | titel = What is an Excimer Lamp? | zugriff = 2025-07-29 }}</ref>
</references>

[[Kategorie:Chemie]]
[[Kategorie:Molekülphysik]]
[[Kategorie:Spektroskopie]]
[[Kategorie:Atomphysik]]

Excimer - Versionsgeschichte

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