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2026-03-20T18:02:12Z

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{{Infobox Chemikalie
| Strukturformel = [[Datei:Dichlorsilan Natta.svg|100px|Strukturformel von Dichlorsilan]]
| Strukturhinweis = [[Keilstrichformel|Keile]] zur Verdeutlichung der [[Tetraeder|Geometrie]]
| Andere Namen = DCS
| Summenformel = SiH2Cl2
| CAS = {{CASRN|4109-96-0}}
| EG-Nummer = 223-888-3
| ECHA-ID = 100.021.717
| PubChem = 61330
| ChemSpider =
| Beschreibung = hochentzündliches, farbloses Gas mit stechendem Geruch<ref name="GESTIS" />
| Molare Masse = 101,01 g·[[mol]]−1
| Aggregat = gasförmig<ref name="GESTIS" />
| Dichte = * 1,261 g·cm−3 (Dichte am Siedepunkt)<ref name="GESTIS">{{GESTIS|Name=Dichlorsilan|ZVG=39490|CAS=4109-96-0|Abruf=2026-01-02}}</ref>
* 4,34 kg·m−3 (gasförmig bei 15 °C, 1,013 bar)<ref name="al" />
| Schmelzpunkt = −122,0 °C<ref name="GESTIS" />
| Siedepunkt = 8,4 °C<ref name="GESTIS" />
| Dampfdruck = 1,666 [[Pascal (Einheit)|bar]] (20 °C)<ref name="GESTIS" />
| Löslichkeit = Hydrolyse in Wasser<ref name="GESTIS" />
| Quelle GHS-Kz = <ref name="GESTIS" />
| GHS-Piktogramme = {{GHS-Piktogramme|06|02|05|04}}
| GHS-Signalwort = Gefahr
| H = {{H-Sätze|220|280|330|314}}
| EUH = {{EUH-Sätze|071}}
| P = {{P-Sätze|210|260|280|304+340+315|303+361+353+315|305+351+338+315|377|381|403|405}}
| Quelle P = <ref name="GESTIS" />
}}

'''Dichlorsilan''' ist eine [[chemische Verbindung]] aus der Gruppe der chlorierten [[Silane]].

== Gewinnung und Darstellung ==
Dichlorsilan kann durch [[Chlorierung]] von [[Monosilan]] mit [[Chlorwasserstoff]] in Gegenwart von [[Aluminiumchlorid]] als [[Katalysator]] bei erhöhter Temperatur hergestellt werden.<ref name="stock">{{Literatur |Autor=Alfred Stock, Carl Somieski |Titel=Siliciumwasserstoffe VI.: Chlorierung und Methylierung des Monosilans |Sammelwerk=[[Berichte der deutschen chemischen Gesellschaft]] (A and B Series) |Band=52 |Nummer=4 |Datum=1919-04-12 |Seiten=695 |DOI=10.1002/cber.19190520410}}</ref>
: <math>\mathrm{ SiH_4 + \ 2 \ HCl \ \xrightarrow[AlCl_3]{100\, {}^{\circ}C, 30 h}\ SiH_2Cl_2 \ + \ 2 \ H_2}</math>

Daneben kann es durch [[Disproportionierung]] von [[Trichlorsilan]] an geeigneten [[Katalysator]]en gewonnen werden.<ref>{{Patent| Land=EP| V-Nr=0474265A2| Typ=Patentanmeldung| Titel=Verfahren zur Herstellung von Dichlorsilan| A-Datum=1988-03-26| V-Datum=1992-03-11| Anmelder=Hüls Aktiengesellschaft| Erfinder=Reinhard Matthes et Al}}</ref>

== Eigenschaften ==
Dichlorsilan ist ein hochentzündliches, ätzendes, unter Druck verflüssigtes Gas. Es bildet bei Kontakt mit feuchter Luft einen [[Chlorwasserstoff]]nebel. In Wasser [[Hydrolyse|hydrolysiert]] es zu Chlorwasserstoff und einer Mischung von polymeren [[Siloxane]]n. Ab einer Temperatur von 55 °C zersetzt sich die Verbindung, wobei Chlorwasserstoff und in geringen Mengen auch [[Wasserstoff]] und [[Chlor]] entstehen. Es besteht die Gefahr der Selbstentzündung. Der [[Explosionsgrenze|Explosionsbereich]] liegt zwischen 2,5 Vol.‑% (105 g/m3) als untere Explosionsgrenze (UEG) und 80,0 Vol.‑% (3359 g/m3) als obere Explosionsgrenze (OEG).<ref name="Brandes">E. Brandes, W. Möller: ''Sicherheitstechnische Kenngrößen – Band 1: Brennbare Flüssigkeiten und Gase'', Wirtschaftsverlag NW – Verlag für neue Wissenschaft GmbH, Bremerhaven 2003.</ref><ref name="GESTIS" /> Es ist empfindlich gegenüber [[Sauerstoff]] und [[UV-Licht]]. Die Verbindung besitzt eine kritische Temperatur von 176,3 °C, einen kritischen Druck von 43,78 bar, eine kritische Dichte von 0,479 kg/l und eine Tripelpunkttemperatur von −122 °C (Schmelztemperatur).<ref name="GESTIS" /> Die spezifische [[Verdampfungsenthalpie]] beträgt 249 kJ/kg.<ref>Datenblatt {{Webarchiv |url=http://www.messer.ch/produkte_loesungen/gasedaten/physdatenbl/Dichlorsilan_phys_d.pdf |wayback=20150518073414 |text=''Dichlorsilan'' }} bei Messer Schweiz AG (PDF; 207 kB).</ref>

== Verwendung ==
Dichlorsilan wird in der Halbleiterproduktion bei der [[Chemische Gasphasenabscheidung|chemischen Gasphasenabscheidung]] bzw. [[Epitaxie]] auch im Gemisch mit [[Ammoniak]] bei der Herstellung von [[Siliciumnitrid]] oder [[Siliciumdioxid]] verwendet.<ref name="al">Airliquide: [https://www.airliquide.de/loesungen/produkte/gase/gasekatalog/stoffe/dichlorsilann30.html ''Dichlorsilan N30'']</ref>

== Sicherheitshinweise ==
Die Dämpfe von Dichlorsilan können mit Luft ein explosionsfähiges Gemisch ([[Flammpunkt]] −28 °C, [[Zündtemperatur]] 185 °C) bilden.

== Weblinks ==
* Ansyco: [http://www.ansyco.de/CMS/frontend/index.php?idcatside=124&show=409 IR-Spektrum von Dichlorsilan]

== Einzelnachweise ==
<references />

{{Navigationsleiste Halogensilane}}

[[Kategorie:Chlorsilan]]
[[Kategorie:Hydrosilan]]

Dichlorsilan - Versionsgeschichte

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