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2018-07-22T17:09:06Z

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Ein '''Bubbler''' bzw. '''Bubbler-System''', manchmal auch als ''Dampfdrucksättiger'' bezeichnet, ist ein Bestandteil einer Anlage zur [[Metallorganische chemische Gasphasenabscheidung|metallorganischen chemischen Gasphasenabscheidung]] (MOCVD) und [[Atomlagenabscheidung]] (ALD). Sein Zweck ist es dabei, die als Ausgangsstoffe ([[Prekursor]]en) verwendeten [[Metallorganische Verbindung|metallorganischen Verbindungen]] in einen gesättigten Dampf zu überführen und diesen mithilfe von eingeleiteten Gasbläschen eines [[Inertgas|inerten]] Trägergases<ref>{{Literatur |Autor=Anthony C. Jones, Michael L. Hitchman |Titel=Chemical Vapour Deposition: Precursors, Processes and Applications |Verlag=Royal Society of Chemistry |Datum=2009 |ISBN=978-0-85404-465-8 |Seiten=18}}</ref> ([[Argon]], [[Stickstoff]] oder auch [[Wasserstoff]]) durch Mitnahme kontrolliert in die Reaktionskammer zu leiten.

== Aufbau ==
Der Behälter des Bubblers entspricht nach seinem Aufbau einer [[Waschflasche|Gaswaschflasche]] und dient der geschützten Lagerung des Metallorganikum unter Abschluss von [[Luft]] ([[Sauerstoff]], [[Feuchtigkeit]]). Der Bubbler besitzt meistens ein Zuleitungsrohr und ein Entnahmerohr. Das Zuleitungsrohr endet unten kurz vor dem Boden. In dieses Rohr wird ein Inertgas eingeleitet, und blubbert durch die flüssige Chemikalie. Bei einer festen Chemikalie [[Sublimation (Phasenübergang)|sublimiert]] diese. Durch das Entnahmerohr verlässt den Bubbler das Gemisch von kontrolliert eingeleitetem Inertgas und der verdampfenden Chemikalie in ein nachgeschaltetes Reaktionsgefäß. Die Temperatur wird über einen Thermostaten kontrolliert, so dass ein definierter, konstanter Dampfdruck erreicht werden kann. Die Zufuhr der meistens teuren und empfindlichen Chemikalie wird durch den geregelten Durchfluss des Inertgases und der Temperatur des Bubblers, aus der sich der [[Dampfdruck]] der Chemikalie ergibt, gesteuert.

Die Rohrleitung zwischen dem Bubbler und dem Reaktionsgefäß muss eine höhere Temperatur haben als der Bubbler, ansonsten [[Kondensation|kondensiert]] der Prekursor in der Rohrleitung und wird somit unkontrolliert als Tropfen in das Reaktionsgefäß eingeleitet. Passiert dies mit einem festen Prekursor, so kann die Leitung verstopfen. Ein Nachteil dieser Methoden der Prekursorzuführung ist es, dass der Prekursor durch die Erhitzung degradieren kann.

== Weblinks ==
* {{Webarchiv |url=http://www.qualiflow.com/pdf/web_Bubbler_big_datasheet.pdf |wayback=20130820003458 |text=Beschreibung eines Bubblers}} (PDF; 167 kB)
* [http://www.tu-braunschweig.de/iot/forschung/cvd/einleitung CVD-Verfahren]
* {{Webarchiv |url=http://www.bronkhorst.com/files/published_articles/liquid.pdf |wayback=20141212091921 |text=Liquid Injection Systems based on Mass Flow Controllers}} (PDF; 67 kB)

== Einzelnachweise ==
<references />

[[Kategorie:Laborgerät]]

Bubbler - Versionsgeschichte

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