Oberflächenemitter

Der Oberflächenemitter oder VCSEL [<templatestyles src="IPA/styles.css" />{{#if:|[}}v'ɪksl{{#if:

    | ] <phonos file="{{{Tondatei}}}"></phonos>
  }}{{#invoke:TemplatePar|check

|all= 1= |opt= 2= Tondatei= |template=Vorlage:IPA |errNS= 0 |cat=Wikipedia:Vorlagenfehler/Vorlage:IPA |format=@@@ }}] (von {{#invoke:Vorlage:lang|full|CODE=en|SCRIPTING=Latn|SERVICE=englisch}}) ist eine Laserdiode, bei der das Licht senkrecht zur Ebene des Halbleiterchips abgestrahlt wird, im Gegensatz zur kantenemittierenden Laserdiode, bei der das Licht an einer oder zwei Flanken des Chips austritt.

Merkmale

Entscheidende Merkmale der Oberflächenemitter sind die gegenüber Kantenemittern geringen Herstellungskosten und die bessere Strahlqualität bei allerdings geringerer Ausgangsleistung. VCSEL zeichnen sich dadurch aus, dass sie monomodig verfügbar sind und die Wellenlänge durch die Struktur bestimmbar ist. Die Einkoppeleffizienz in Lichtwellenleiter ist aufgrund der kleinen Bauweise, der guten Strahlqualität und der guten Fokussierbarkeit hoch.

Anwendungen

Oberflächenemitter werden als optische Sender für Glasfaser-Datenübertragung benutzt und eignen sich für die analoge Breitband-Signalübertragung. Für die Absorptionsspektroskopie (Tunable Diode Laser Absorption Spectroscopy, TDLAS) werden ebenfalls Oberflächenemitter eingesetzt. Ein weiteres Gebiet für VCSEL sind Laserdrucker.

Struktur

Datei:Simple vcsel.svg

Schema einer einfachen Oberflächenemitter-Struktur

Der Laserresonator wird durch zwei parallel zur Ebene des Wafers angeordnete Bragg-Spiegel gebildet, in die eine aktive Zone (üblicherweise mit zweidimensionalen Quantentöpfen, auch Quantenfilm genannt) zur Erzeugung der Laserstrahlung eingebettet ist. Derartige planare Bragg-Spiegel sind aus Schichten mit abwechselnd niedrigem und hohem Brechungsindex aufgebaut, die jeweils eine optische Weglänge l von einem Viertel der Laserwellenlänge im Material haben: l = λ/(4n) mit n = Brechungsindex des Mediums. Dadurch wird der im Oberflächenemitter erforderliche Reflexionsgrad von über 99 Prozent erreicht. Aufgrund der kleinen Abmessungen des eigentlichen Lasers von nur wenigen Mikrometern in jeder Richtung haben Oberflächenemitter kleinere Ausgangsleistungen im Vergleich zu Kantenemittern.

Man unterscheidet optisch gepumpte Oberflächenemitter, bei denen die aktive Zone von außen mit Licht kürzerer Wellenlänge zum Strahlen angeregt wird, und elektrisch gepumpte Oberflächenemitter, die eine pin-Diode darstellen.

Oberflächenemitter für Wellenlängen zwischen 650 nm und 1300 nm basieren praktisch ausschließlich auf GaAs-Wafern, während bei Wellenlängen zwischen 1300 nm und 2000 nm (langwellige Oberflächenemitter) zumindest die aktive Zone auf InP oder GaInAsN basiert. Oberflächenemitter mit noch größerer Wellenlänge sind derzeit im experimentellen Stadium und sind zumeist optisch gepumpt.

Sonderformen

Sonderformen von Oberflächenemittern:

Oberflächenemitter mit Tunnelkontakt. Hier wird durch den Tunnelkontakt (n⁺p⁺) eine elektrisch vorteilhafte n-n⁺p⁺-p-i-n Konfiguration erzeugt, die auch verschiedene andere Strukturdetails positiv beeinflussen kann, z. B. beim {{#invoke:Vorlage:lang|flat}} (BTJ).
Weit abstimmbarer Oberflächenemitter mit einem mikromechanisch beweglichen Spiegel, auch {{#invoke:Vorlage:lang|flat}} (VECSEL) genannt.
{{#invoke:Vorlage:lang|flat}}- bzw. {{#invoke:Vorlage:lang|flat}}-Oberflächenemitter: Kombination von Halbleitermaterial, das auf unterschiedlichen Arten von Wafer-Substraten hergestellt werden kann.
Monolithisch optisch gepumpte Oberflächenemitter: Zwei aufeinandergesetzte Oberflächenemitter, bei denen der eine den anderen optisch pumpt.
Oberflächenemitter mit longitudinal-integrierter Monitordiode: Unter dem rückwärtigen Spiegel wird eine Photodiode integriert.
Oberflächenemitter mit transversal-integrierter Monitordiode: Durch geeignetes Abätzen kann aus dem Wafer eines Oberflächenemitters auch eine resonante Photodiode für Licht eines benachbarten Oberflächenemitter hergestellt werden.

Historisches

Den ersten Oberflächenemitter haben 1979 Haruhisa Soda, Ken-ichi Iga, Chiyuki Kitahara und Yasuharu Suematsu vorgestellt<ref>{{#invoke:Vorlage:Literatur|f}}</ref>, jedoch wurden Bauelemente mit einem Schwellstrom unter 1 mA erst 1989 präsentiert. Heute haben Oberflächenemitter die Kantenemitter bei optischen Kurzstreckenverbindungen wie Gigabit-Ethernet oder Fibre Channel verdrängt.

Weblinks

Langwellige Oberflächenemitter im nahen Infrarot
<templatestyles src="Webarchiv/styles.css" />{{#if:20061017185714

      | {{#ifeq: 20061017185714 | *
    | Vorlage:Webarchiv/Wartung/Stern{{#if: Oberflächenemitter für die Verbrennungsforschung. | {{#invoke:WLink|getEscapedTitle|Oberflächenemitter für die Verbrennungsforschung.}} | {{#invoke:Webarchiv|getdomain|http://www.lasercomponents.com/de/fileadmin/user_upload/home/Datasheets/lc/applikationsreport/vcsel.pdf}} }} (Archivversionen)
    | {{#iferror: {{#time: j. F Y|20061017185714}}
         | {{#if:  || }}Vorlage:Webarchiv/Wartung/DatumDer Wert des Parameters {{#if: wayback | wayback | Datum }} muss ein gültiger Zeitstempel der Form YYYYMMDDHHMMSS sein!
         | {{#if: Oberflächenemitter für die Verbrennungsforschung. | {{#invoke:WLink|getEscapedTitle|Oberflächenemitter für die Verbrennungsforschung.}} | {{#invoke:Webarchiv|getdomain|http://www.lasercomponents.com/de/fileadmin/user_upload/home/Datasheets/lc/applikationsreport/vcsel.pdf}} }} {{#ifeq:  | [] | [ | ( }}Memento{{#if: {{#if:  | {{{archiv-bot}}} |  }} |  des Vorlage:Referrer }} vom {{#time: j. F Y|20061017185714}} im Internet Archive{{#if:  | ;  }}{{#ifeq:  | [] | ] | ) }}
      }}
  }}
      | {{#if:
          | {{#iferror: {{#time: j. F Y|{{{webciteID}}}}}
    | {{#switch: {{#invoke:Str|len|{{{webciteID}}}}}
       | 16= {{#if: Oberflächenemitter für die Verbrennungsforschung. | {{#invoke:WLink|getEscapedTitle|Oberflächenemitter für die Verbrennungsforschung.}} | {{#invoke:Webarchiv|getdomain|http://www.lasercomponents.com/de/fileadmin/user_upload/home/Datasheets/lc/applikationsreport/vcsel.pdf}} }} {{#ifeq:  | [] | [ | ( }}Memento{{#if: {{#if:  | {{{archiv-bot}}} |  }} |  des Vorlage:Referrer }} vom {{#time: j. F Y| 19700101000000 + {{#expr: floor {{#expr: {{#invoke:Str|sub|{{{webciteID}}}|1|10}}/86400}} }} days}} auf WebCite{{#if:  | ;  }}{{#ifeq:  | [] | ] | ) }}
       | 9 = {{#if: Oberflächenemitter für die Verbrennungsforschung. | {{#invoke:WLink|getEscapedTitle|Oberflächenemitter für die Verbrennungsforschung.}} | {{#invoke:Webarchiv|getdomain|http://www.lasercomponents.com/de/fileadmin/user_upload/home/Datasheets/lc/applikationsreport/vcsel.pdf}} }} {{#ifeq:  | [] | [ | ( }}Memento{{#if: {{#if:  | {{{archiv-bot}}} |  }} |  des Vorlage:Referrer}} vom {{#time: j. F Y| 19700101000000 + {{#expr: floor {{#expr: {{#invoke:Str|sub|{{#invoke:Expr|base62|{{{webciteID}}}}}|1|10}}/86400}} }} days}} auf WebCite{{#if:  | ;  }}{{#ifeq:  | [] | ] | ) }}
       | #default= Der Wert des Parameters {{#if: webciteID | webciteID | ID }} muss entweder ein Zeitstempel der Form YYYYMMDDHHMMSS oder ein Schüsselwert mit 9 Zeichen oder eine 16-stellige Zahl sein!Vorlage:Webarchiv/Wartung/webcitation{{#if:  || }}
      }}
    | c|{{{webciteID}}}}} {{#if: Oberflächenemitter für die Verbrennungsforschung. | {{#invoke:WLink|getEscapedTitle|Oberflächenemitter für die Verbrennungsforschung.}} | {{#invoke:Webarchiv|getdomain|http://www.lasercomponents.com/de/fileadmin/user_upload/home/Datasheets/lc/applikationsreport/vcsel.pdf}} }} (Memento{{#if: {{#if:  | {{{archiv-bot}}} |  }} |  des Vorlage:Referrer}} vom {{#time: j. F Y|{{{webciteID}}}}} auf WebCite{{#if:  | ;  }}{{#ifeq:  | [] | ] | ) }}
  }}
          | {{#if: 
              | Vorlage:Webarchiv/Today
              | {{#if:
                      | Vorlage:Webarchiv/Generisch
                      | {{#if: Oberflächenemitter für die Verbrennungsforschung. | {{#invoke:WLink|getEscapedTitle|Oberflächenemitter für die Verbrennungsforschung.}} | {{#invoke:Webarchiv|getdomain|http://www.lasercomponents.com/de/fileadmin/user_upload/home/Datasheets/lc/applikationsreport/vcsel.pdf}} }}  
                 }}}}}}}}{{#if:
    | Vorlage:Webarchiv/archiv-bot
  }}{{#invoke:TemplatePar|check
     |all      = url=
     |opt      = text= wayback= webciteID= archive-is= archive-today= archiv-url= archiv-datum= ()= archiv-bot= format= original=
     |cat      = Wikipedia:Vorlagenfehler/Vorlage:Webarchiv
     |errNS    = 0
     |template = Vorlage:Webarchiv
     |format   = *
     |preview  = 1
  }}{{#ifexpr: {{#if:20061017185714|1|0}}{{#if:|+1}}{{#if:|+1}}{{#if:|+1}}{{#if:|+1}} <> 1
    | {{#if:  || }}Vorlage:Webarchiv/Wartung/Parameter{{#invoke:TemplUtl|failure| Fehler bei Vorlage:Webarchiv: Genau einer der Parameter 'wayback', 'webciteID', 'archive-today', 'archive-is' oder 'archiv-url' muss angegeben werden.|1}}
  }}{{#if: 
    | {{#switch: {{#invoke:Webarchiv|getdomain|{{{archiv-url}}}}}
        | web.archive.org = 
          {{#if:  || }}{{#invoke:TemplUtl|failure| Fehler bei Vorlage:Webarchiv: Im Parameter 'archiv-url' wurde URL von Internet Archive erkannt, bitte Parameter 'wayback' benutzen.|1}} 
        | webcitation.org = 
          {{#if:  || }}{{#invoke:TemplUtl|failure| Fehler bei Vorlage:Webarchiv: Im Parameter 'archiv-url' wurde URL von WebCite erkannt, bitte Parameter 'webciteID' benutzen.|1}} 
        | archive.today |archive.is |archive.ph |archive.fo |archive.li |archive.md |archive.vn = 
          {{#if:  || }}{{#invoke:TemplUtl|failure| Fehler bei Vorlage:Webarchiv: Im Parameter 'archiv-url' wurde URL von archive.today erkannt, bitte Parameter 'archive-today' benutzen.|1}}
      }}{{#if: 
         | {{#iferror: {{#iferror:{{#invoke:Vorlage:FormatDate|Execute}}|Vorlage:FormatDate/Wartung/Error}}
             | {{#if:  || }}Vorlage:Webarchiv/Wartung/Parameter{{#invoke:TemplUtl|failure| Fehler bei Vorlage:Webarchiv: Der Wert des Parameter 'archiv-datum' ist ungültig oder hat ein ungültiges Format.|1}}
          |  }} 
         | {{#if:  || }}Vorlage:Webarchiv/Wartung/Parameter{{#invoke:TemplUtl|failure| Fehler bei Vorlage:Webarchiv: Der Pflichtparameter 'archiv-datum' wurde nicht angegeben.|1}}
      }}
    | {{#if: 
         | {{#if:  || }}Vorlage:Webarchiv/Wartung/Parameter{{#invoke:TemplUtl|failure| Fehler bei Vorlage:Webarchiv: Der Parameter 'archiv-datum' ist nur in Verbindung mit 'archiv-url' angebbar.|1}}
      }}
  }}{{#if:{{#invoke:URLutil|isHostPathResource|http://www.lasercomponents.com/de/fileadmin/user_upload/home/Datasheets/lc/applikationsreport/vcsel.pdf}}
    || {{#if:  || }} URL/Pfad ungültig.
  }}{{#if: Oberflächenemitter für die Verbrennungsforschung.
    | {{#if: {{#invoke:WLink|isBracketedLink|Oberflächenemitter für die Verbrennungsforschung.}}
        | {{#if:  || }} Linktext ungültig.
      }}
    | {{#if:  || }}Vorlage:Webarchiv/Wartung/Linktext_fehlt Linktext fehlt.
  }}{{#switch: 
    |addlarchives|addlpages= {{#if:  || }}{{#if: 1 |Vorlage:Webarchiv/Wartung/Parameter}}{{#invoke:TemplUtl|failure| Fehler bei Vorlage:Webarchiv: enWP-Wert im Parameter 'format'.|1}}
  }}{{#ifeq: {{#invoke:Str|find|http://www.lasercomponents.com/de/fileadmin/user_upload/home/Datasheets/lc/applikationsreport/vcsel.pdf%7Carchiv}} |-1
    || {{#ifeq: {{#invoke:Str|find|{{#invoke:Str|cropleft|http://www.lasercomponents.com/de/fileadmin/user_upload/home/Datasheets/lc/applikationsreport/vcsel.pdf%7C4}}%7Chttp}} |-1
         || {{#switch: {{#invoke:Webarchiv|getdomain|http://www.lasercomponents.com/de/fileadmin/user_upload/home/Datasheets/lc/applikationsreport/vcsel.pdf }}
              | abendblatt.de | daserste.ndr.de | inarchive.com | webcitation.org = 
              | #default = {{#if:  || }}{{#if: 1 |Vorlage:Webarchiv/Wartung/URL}}{{#invoke:TemplUtl|failure| Fehler bei Vorlage:Webarchiv: Archiv-URL im Parameter 'url' anstatt URL der Originalquelle. Entferne den vor der Original-URL stehenden Mementobestandteil und setze den Archivierungszeitstempel in den Parameter 'wayback', 'webciteID', 'archive.today' oder 'archive-is' ein, sofern nicht bereits befüllt.|1}}
            }} 
       }}
  }} (PDF; 161 kB)

Einzelnachweise