International Technology Roadmap for Semiconductors

2024-07-11T22:43:50Z

185.205.126.83: Typos

Die {{lang|en|'''International Technology Roadmap for Semiconductors'''}} ('''ITRS''') war eine Prognose ([[Roadmap]]) über die zukünftige Entwicklung der [[Halbleitertechnik]], die als [[roter Faden]] für Chip- und Gerätehersteller galt.<ref>{{Internetquelle |url=https://irds.ieee.org/ |titel=IEEE International Roadmap for Devices and Systems - IEEE IRDS™ |hrsg=[[IEEE]] |datum=2022 |sprache=en-GB |abruf=2022-12-04}}</ref> Sie wurde alle zwei Jahre in den Jahren 1998–2015 von einem [[Gremium]] der weltweiten Experten aus der Halbleiterindustrie aktualisiert. Zusätzlich erfolgten in den Zwischenjahren kleinere Aktualisierungen. Es wurden z. B. die zukünftigen [[Technologieknoten]] genannt. Die Entwicklung der Leistungsfähigkeit der [[Mikroelektronik|mikro-]] und [[Nanoelektronik|nanoelektronischen]] Schaltungen orientierte sich dabei am [[Mooresches Gesetz|mooreschen Gesetz]].

Seit 2017 wird die ITRS nicht mehr aktualisiert. Ihr Nachfolger ist die von [[Institute of Electrical and Electronics Engineers|IEEE]] unterstützte [[International Roadmap for Devices and Systems]] (IRDS).<ref>{{Internetquelle |url=https://irds.ieee.org/editions |titel=Roadmap - IEEE IRDS™ |hrsg=[[IEEE]] |datum=2022 |sprache=en-GB |abruf=2022-12-04}}</ref>

Der Name der Roadmap ist mit einem Trademark ([[Marke (Recht)|Markenzeichen]]) geschützt.

== Geschichte ==
Mit der fortschreitenden Auslagerung von Produktionsprozessen durch Anbieter von Spezialausrüstungen entstand die Notwendigkeit einer klaren Entwicklungsplanung, um zukünftige technologische Bedürfnisse der IC-Herstellung planen und steuern zu können. Seit den 1980er Jahren übernahm in den USA die [[Semiconductor Industry Association]] (SIA) die Verantwortung für diese Koordinierung, was zu der Schaffung einer [[Roadmap]] im amerikanischen Stil führte, die {{lang|en|National Technology Roadmap for Semiconductors}} (NTRS).<ref>{{Literatur |Autor=James F. Freedman |Titel=Comments on the National Technology Roadmap for Semiconductors |Sammelwerk=Future Trends in Microelectronics |Verlag=Springer Netherlands |Ort=Dordrecht |Datum=1996 |ISBN=94-010-7280-9 |Seiten=87–91 |Online=http://link.springer.com/10.1007/978-94-009-1746-0_8 |Abruf=2022-12-04 |DOI=10.1007/978-94-009-1746-0_8}}</ref> Im Jahr 1998 schloss sich die SIA mit ihren europäischen, japanischen, koreanischen und taiwanesischen Kollegen zusammen, um die erste internationale Entwicklungsplanung zu erstellen, die {{lang|en|International Technology Roadmap for Semiconductors}} (ITRS).<ref>{{Literatur |Autor=Jean-Baptiste Waldner |Titel=Nanocomputers and Swarm Intelligence |Verlag=ISTE |Ort=London, UK |Datum=2008 |ISBN=978-0-470-61097-8 |Online=http://doi.wiley.com/10.1002/9780470610978 |Abruf=2022-12-04 |DOI=10.1002/9780470610978.ch4}}</ref>

=== ITRS 2.0 ===
In den Jahren 2013–2014 wurde durch ein ''International Roadmap Committee (IRC)'' und sieben ''International Focus Teams (IFT)'' eine Roadmap '''ITRS 2.0''' mit folgenden Themengebieten definiert:

# System Integration
# Outside System Connectivity
# Heterogeneous Integration
# More the Moore
# Beyond CMOS
# More Moore
# Factory Integration

=== IRDS ===
Es wurde jedoch klar, dass neue Technologien weit über [[Complementary metal-oxide-semiconductor|CMOS]]-basierte Geräte hinausgehen würden. In diesem Zuge hat man 2016 die Gründung der [[International Roadmap for Devices and Systems]] (IRDS) als Teil des IEEE beschlossen und auf den Weg gebracht.

== Umfang und Themen ==
Die ITRS umfasste eine Gruppe von Dokumenten, in denen die Anforderungen zukünftiger mikroelektronischer Schaltungen sowie der benötigten Mess- und Anlagentechnik zusammengefasst wurden. Sie galten als Richtlinie für die Entwicklung im Bereich der Halbleitertechnik. Zusätzlich gab es noch mehrere Tabellendokumente mit Prognosen für die nächsten 15 Jahre. Die Hauptdokumente umfassen folgende Themen:
* {{lang|en|Executive Summary}}
* {{lang|en|System Drivers}}
* {{lang|en|Design}}
* {{lang|en|Test & Test Equipment}}
* {{lang|en|Process Integration, Devices & Structures}}
* {{lang|en|RF and A/MS Technologies for Wireless Communications}}
* {{lang|en|Emerging Research Devices}}
* {{lang|en|Emerging Research Materials}}
* {{lang|en|Front End Processes}}
* {{lang|en|Lithography}}, beschäftigt sich mit den Techniken zur Strukturierung von Materialbereichen
* {{lang|en|Interconnect}}, beschäftigt sich mit den elektrischen Verbindungen und den dazwischenliegenden Isolationsbereichen im BEoL
* {{lang|en|Factory Integration}}
* {{lang|en|Assembly & Packaging}}
* {{lang|en|Environment, Safety & Health}}
* {{lang|en|Yield Enhancement}}, beschäftigt sich mit der Verbesserung der [[Ausbeute (Halbleitertechnik)|Ausbeute]]
* {{lang|en|Metrology}}, beschäftigt sich mit den Anforderungen an die Messtechnik und Prozesskontrolle
* {{lang|en|Modeling & Simulation}}, beschäftigt sich mit der Modellierung und Simulation

== Literatur ==

* {{Literatur
|Autor=Joachim N. Burghartz
|Hrsg=Joachim Burghartz
|Titel=Thin Chips on the ITRS Roadmap
|Sammelwerk=Ultra-thin Chip Technology and Applications
|Verlag=Springer New York
|Ort=New York, NY
|Datum=2011
|ISBN=978-1-4419-7275-0
|Seiten=13–18
|DOI=10.1007/978-1-4419-7276-7_2}}
* {{Literatur
|Autor=Bernd Hoefflinger
|Hrsg=Bernd Hoefflinger
|Titel=ITRS: The International Technology Roadmap for Semiconductors
|Sammelwerk=Chips 2020
|Reihe=The Frontiers Collection
|Verlag=Springer Berlin Heidelberg
|Ort=Berlin, Heidelberg
|Datum=2011
|ISBN=978-3-642-22399-0
|Seiten=161–174
|DOI=10.1007/978-3-642-23096-7_7}}
* {{Literatur
|Autor=Bernd Hoefflinger
|Hrsg=Bernd Höfflinger
|Titel=ITRS 2028—International Roadmap of Semiconductors
|Sammelwerk=CHIPS 2020
|Reihe=The Frontiers Collection
|Band=VOL. 2
|Verlag=Springer International Publishing
|Ort=Cham
|Datum=2016
|ISBN=978-3-319-22092-5
|Seiten=143–148
|DOI=10.1007/978-3-319-22093-2_7}}
* {{Literatur
|Autor=Sameer Kumar, Nicole Krenner
|Titel=Review of the Semiconductor Industry and Technology Roadmap
|Sammelwerk=Journal of Science Education and Technology
|Band=11
|Nummer=3
|Datum=2002
|Seiten=229–236
|DOI=10.1023/A:1016068401942}}

== Weblinks ==

* [https://irds.ieee.org/editions IRDS Roadmap] – offizielle Website (ab 2016)
* [http://www.itrs2.net/ ITRS 2.0 Home] – offizielle Website (bis 2016)
* {{Internetquelle |url=http://www.itrs.net/Links/2011ITRS/Home2011.htm |titel=The International Technology Roadmap for Semiconductors, Edition 2011 |offline=1 |archiv-url=https://web.archive.org/web/20150110005856/http://www.itrs.net/Links/2011ITRS/Home2011.htm |archiv-datum=2015-01-10 |abruf=2016-12-09}}

== Einzelnachweise ==
<references />

[[Kategorie:Mikroelektronik]]

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